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恆溫器 (循環液恆溫裝置)

恆溫器／高功能型 HRZ

    ・高溫度安定性、廣泛的溫度範圍、故障診斷、外部通訊等充實裝備
    　在半導體製程裝置有多量的實績
    ・對應各種安全規格
    ・適合UL, SEMI規格、CE認證
安全上的注意　恆溫器/共通注意事項　特長/組合變化
技術資料　關於恆溫器的保證　綠色對應 (RoHS)
系列設定溫度
範圍		冷卻
能力		溫度
安定性		冷卻
方式		循環液
HRZ-20 ～ 40
20 ～ 90
-20 ～ 90		1 kW, 2 kW, 4 kW, 8 kW±0.1℃水冷
冷凍式		氟素化液, 清水, 去離子水（純水）,
乙二醇水溶液 (60%)
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