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常時閉型高真空電磁閥 XSA

    ・最低使用壓力: 1 × 10-6 Pa (abs)
    ・洩漏量:內部1.3 × 10-9 Pa·m3/s, 外部1.3 × 10-11 Pa·m3/s
    ・備有2種類的接頭、母螺牙
    ・消耗電力:最大削減25%
    ・質量:最大削減18% (0.5 kg → 0.41 kg)
系列閥型式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常時閉空氣
惰性氣體
面密封接頭
嵌入式接頭
1/4, 3/8
XSA常時閉空氣
惰性氣體
母螺牙
(Rc, NPT)
1/8, 1/4, 3/8

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