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恆溫器 (循環液恆溫裝置)

恆溫器／高功能變頻型 HRZ

    ・HRZ系列，高功能機種，採用DC變頻壓縮機，達省能源效果
    ・寬廣的溫度範圍、冷卻能力範圍，可用1台涵蓋
    ・對應創新週期短的半導體裝置等，製程條件的件變化可柔軟對應
    ・適合UL, SEMI規格、CE認證
安全上的注意　恆溫器/共通注意事項　特長/組合變化
技術資料　關於恆溫器的保證　綠色對應 (RoHS)
系列設定溫度
範圍		冷卻
能力		溫度
安定性		冷卻
方式		循環液
HRZ−20 ～ 90℃
10 ～ 60℃		10 kW±0.1℃水冷
冷凍式		氟素化, 清水, 去離子水（純水）,
乙二醇水溶液 (60%)
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