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直線型真空過濾器 ZFC
| 系列 | 適用氣壓管外徑 公釐 | 適用氣壓管外徑 英吋 | 流量 L/min (ANR) 註1) 正壓 | 流量 L/min (ANR) 真空壓 | 過濾度 (μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC1□ | φ2, φ3.2 | φ1/8'' | 15 / 45 | 2 / 5 | 5，10 註2） |
| ZFC3□ | φ3.2, φ4 | φ1/8'', φ5/32'' | 50 / 80 | 7 / 10 | 5，10 註2） |
| ZFC5□ | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100 / 200 | 10 / 20 | 5，10 註2） |
| ZFC7□ | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250 / 450 / 550 / 650 | 30 / 70 /80 / 100 | 5，10 註2） |
