小型2･3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
減圧弁（圧力調整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
-
・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。
| シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
| BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
製品特長
減圧弁（圧力調整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。
減圧弁（圧力調整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP Series
半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series
チェック弁
背圧による流体の逆流を防止。内部可動部品はＯリングのみのシンプル構造。スプリングレス構造により振動、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
バキュームジェネレータ
真空発生機器。ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
フロースイッチ
配管の破断等による過剰流量の検出
