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プロセスガス用機器

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

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取扱説明書

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減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

取扱説明書

シリーズ	形式	検索結果を表示
AP	一段式減圧弁	検索結果を表示
AP	二段式減圧弁	検索結果を表示
AP	エアオペレート式減圧弁	検索結果を表示
SL	一段式減圧弁	検索結果を表示
AZ	一段式減圧弁	検索結果を表示
AZ	エアオペレート式減圧弁	検索結果を表示
AK	一段式減圧弁	検索結果を表示
AK	二段式減圧弁	検索結果を表示
AK	エアオペレート式減圧弁	検索結果を表示
BP	背圧弁	検索結果を表示
BP	背圧弁	検索結果を表示

安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	名称	形式	ボディ材質
AP	高純度プロセスガス	一段式減圧弁	SUS316L ダブルメルト
AP	高純度プロセスガス	二段式減圧弁	SUS316L ダブルメルト
AP	高純度プロセスガス	エアオペレート式減圧弁	SUS316L ダブルメルト
SL	高純度プロセスガス	一段式減圧弁	SUS316L ダブルメルト
AZ	高純度プロセスガス	一段式減圧弁	SUS316L
AZ	高純度プロセスガス	エアオペレート式減圧弁	SUS316L
AK	一般ガス用	一段式減圧弁	SUS316
AK	一般ガス用	二段式減圧弁	SUS316
AK	一般ガス用	エアオペレート式減圧弁	SUS316
BP	高純度用	背圧弁	SUS316
BP	一般ガス用	背圧弁	SUS316

製品特長

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series

半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。

減圧弁（圧力調整器）／背圧弁　一般ガス用 AK/BP Series

半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP Series

半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。

チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series

チェック弁

背圧による流体の逆流を防止。内部可動部品はＯリングのみのシンプル構造。スプリングレス構造により振動、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。

バキュームジェネレータ

真空発生機器。ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。

フロースイッチ

配管の破断等による過剰流量の検出

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