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高真空バルブ

アルミ製高真空L型バルブ XL□

    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
    　 モデルチェンジしました。
    　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～160
XLAV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～160
XLCエア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～160
XLCV（電磁弁付）エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLFエア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～160
XLFV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～160
XLGエア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～160
XLGV（電磁弁付）エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLDエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLDV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～50
XLS電磁式単動
（N.C.）		(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用		16，25

製品特長

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