小型2・3ポートソレノイドバルブ/エアオペレートバルブ
小型直動2ポートソレノイドバルブ VDW
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・空気・中真空・水用。
・ボディ材質:Al、樹脂(PPS)、黄銅、SUS
・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。
・IP65
シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径 |
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VDW10/20 | N.C. | φ3.2,φ4,φ6,M5,1/8 | φ1~φ3.2 |
水・空気用小型直動2/3ポートソレノイドバルブ VDW
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※VDW10/20シリーズは2012年12月生産終了しました。
NewVDW10/20シリーズをご選定願います。
※ただし、VDW10/20シリーズのマニホールドは除きます。
※VDW30シリーズは2015年7月生産終了しました。
VX21シリーズをご選定願います。
※3ポート弁VDW200/300は生産を継続しております。
シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径 (mmφ) |
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VDW10/20/30 | N.C. | M5~1/4 (8A) | 1~4 |
VDW200/300 | C.O. | M5~1/4(8A) | 1~4 |
水・空気用小型軽量2ポートソレノイドバルブ VDW-XF
シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径(mmφ) |
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VDW30/40-XF | N.C. | クイックファスナーP7,P8 φ4,φ6,φ8,φ10 | 1~6 |
高速2ポートバルブ SX10
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・高速応答:ON時 0.45ms、OFF時 0.4ms(±0.05ms)
・長寿命 50億回以上
・高頻度 1200Hz
・薄型 9mm
・低消費電力 4W
シリーズ | 流量 | 消費電力 (W) | 最高作動頻度 (Hz) |
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SX10 | 50 | 80 40 10 4 | 1200 1000 550 350 |
SX10 | 100 | 80 40 10 4 | 650 550 300 200 |
SX10 | 150 | 80 40 10 4 | 600 500 250 150 |
低背型2・3ポートソレノイドバルブ SX90/090
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・コンパクト
全長:約38mm(2ポート)、54mm(3ポート)
バルブ幅・高さ:10mm
質量:10g(2ポート)、20g(3ポート)
・大流量
C[dm3/(s·bar)]:0.25(2ポート)、0.5(3ポート)
流量[L/min(ANR)]:45(2ポート)、90(3ポート) (0.2MPa時)
シリーズ | 弁構造 | C[dm3/(s·bar)] | 流量[L/min(ANR)] 0.2MPa時 | 切換方式 |
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SX91 | 2ポート 直動ポペット弁 | 0.25 | 45 | ノーマルクローズ |
SX92 | 2ポート 直動ポペット弁 | 0.12 | 22 | ユニバーサル |
SX090 | 3ポート 直動ポペット弁 | 0.5 | 90 | ユニバーサル |
乾燥エア用パイロット式2ポートソレノイドバルブ VQ
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・高頻度追従
高速応答7ms以下(VQ20)、20ms以下(VQ30)
・ワンタッチ管継手内蔵で簡単な配管作業
・DINコネクタタイプ 耐塵、防噴流形(IP65)対応可能
・ワークのエアブロー、吹き飛ばし
・マニホールド型式:VV2Q22,VV2Q32
シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径(mmφ) |
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VQ20 | N.C. | φ6~φ12 | 3.4 |
VQ30 | N.C. | φ6~φ12 | 4.8 |
省エアインパクトブローバルブ IBV
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・高いピーク圧力で衝撃力増大。
・瞬間的なエアブローでCO2/空気消費量&作業時間を大幅削減
ピーク圧力:2~3倍以上
CO2空気消費量:93%削減
作業時間:97%削減
シリーズ | 管接続口径 | 使用圧力範囲 |
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IBV10 電磁弁搭載形 | IN:3/8 OUT:1/4 | 0.15〜0.7MPa |
IBV11 エアオペレート形 | IN:3/8 OUT:1/4 パイロットポート:1/8 | 0.1〜0.5MPa |
パルスブローバルブ AXTS040-X202
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・繰返し衝突するエアのピーク圧力により
効率的なエアブローが可能
・CO2排出量(空気消費量):50%削減
・パルス発生用の制御不要
エアを供給するだけでパルスブローが可能!
・パイロット弁内蔵構造により安定したブローが可能
シリーズ | 弁構造 | 切換方式 | 周波数調整幅 |
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AXTS040□-X202 | メタルシール | 内部パイロット仕様 | 1〜12Hz |
パルスブローバルブ AXTS040□-□□-X2
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・繰り返し衝突するエアのピーク圧力により
効率的なエアブローが可能
・空気消費量50%以上削減
・パルス発生用の制御不要
エアを供給するだけでパルスブローが可能!
シリーズ | 弁構造 | 切換方式 | 周波数調整幅 |
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AXTS040□-2□-X2 | メタルシール | 内部パイロット仕様 | 1〜5Hz |
AXTS040□-3□-X2 | メタルシール | 外部パイロット仕様 | 1〜8Hz |
小型薬液用直動2・3ポートソレノイドバルブ LVM
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・低発塵、禁油、メタルフリー ※接液部
・アイソレイト構造
ダイヤフラムにより使用流体領域からソレノイド駆動部を隔離。
・消費電力:1.0W以下(省電力回路付)
・容積変化量(ポンピングボリューム):0.01μL以下
シリーズ | 弁構造 | 弁形式 | 使用圧力範囲 | オリフィス径(mm) |
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LVM07 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. | -75kPa〜0.1MPa | 0.8 |
LVM09 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa〜0.2MPa | 1(直接配管) 1.1(ベース配管) |
LVM10 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa〜0.25MPa | 1.4 |
LVM15 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa〜0.25MPa (最大0.6MPa) | 1.6 1(高圧タイプ) |
LVM20 直接配管形 ベース配管形 | 直動ロッカータイプ | N.C. N.O. ユニバーサル | -75kPa〜0.3MPa (直接配管は0.25 MPa) | 2 |
LVM1□ 直接配管形 ベース配管形 | 直動ポペットタイプ | N.C. | 0〜0.25MPa | 1.5 |
LVM3□ 直接配管形 ベース配管形 | 直動ポペットタイプ | N.C. | −90kPa〜0.2MPa | 5 |
直動形2・3ポートアイソレイトバルブ LVMK20/200
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・低発塵、禁油、メタルフリー
・使用流体:空気、水、脱イオン水(純水)、希釈液、洗浄液
・アイソレイト構造
仕切りパッキンにより使用流体領域からソレノイド駆動部を隔離。
・簡単配管
・液溜り防止
・流量調整不要
シリーズ | 弁形式 | 配管方向 | 接液部材質 |
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LVMK | N.C. ユニバーサル | 下配管 横配管 | ボディ:PPS パッキン:EPDM, FKM |
ピンチバルブ LPV
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・3ポートタイプ追加 [New]
弁形式
片側N.C.常時チューブクランプ
片側N.O.常時チューブアンクランプ
・コンタミの侵入に強く、バルブトラブル低減
・適応チューブ
シリコーン、PharMed®BPT
・消費電力:2.0W
・小型:バルブ幅20mm
・チューブ交換(脱着)が容易
シリーズ | 切換方式 | 弁形式 | 適用チューブ |
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LPV | 直動形ソレノイド | N.C. N.O. | シリコーン、PharMed®BPT 「硬度64(ショアA)以下(目安)」 |
減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。
シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
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AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
常時閉型高真空電磁弁 XSA
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・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力:最大25%削減
・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |