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附大氣開放閥真空閥 XLJ

    ・腔體內防止粗真空幫浦(旋轉幫浦)油的逆流
    ・大氣開放閥的一體構造,削減配管工時
  • 附大氣開放閥真空閥 XLJ
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系列操作方式閥形式
軸密封
方式
法蘭
尺寸
XLJElectromagneticNormally closed/Vacuum pilotO-ring seal25, 40

產品特點

■Prevents the reverse flow of oil through the roughing pump (rotary pump) into the chamber
■Reduced piping labor due to the built-in release valve structure

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