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閘閥

閘閥 XGT

    ・於半導體裝置等,晶圓盒進出負載鎖定腔體與搬送腔體
     及搬送腔體與製程腔體間的隔離閥使用
系列使用壓力
範圍 (Pa)(abs)
使用流體開口窗尺寸
(高×寬)
(mm)
作動
壓力
(MPa)(G)
XGT大氣壓
~ 10-6
惰性的真空氣體32 x 222
46 x 236
50 x 336
0.45 ~ 0.6

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