3通口電磁 VQZ100/200/300
| 系列 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消耗 電力 (W) | 可真空 使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| VQZ100 | 0.56 | 0.30 | 0.14 | 0.35(標準) 0.9(高壓型, 高速應答型) | －100 kPa |
| VQZ200 | 1.7 | 0.36 | 0.45 | 0.35(標準) 0.9(高壓型, 高速應答型) | －100 kPa |
| VQZ300 | 3.0 | 0.33 | 0.72 | 0.35(標準) 0.9(高壓型, 高速應答型) | －100 kPa |
