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工艺气体元件

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减压阀（压力调节器）高纯度工艺气体用 AP/SL/AZ 一般气体用/AK 背压阀/BP

    ・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。
    ・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。
    ・接触气体部分经过电解研磨处理。
    ・外部金属密封构造。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列形式用途主体材质
AP高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用二段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用气控型减压阀SUS316L
二次熔炼
SL高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AZ高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用气控型减压阀SUS316L
AK一般气体用一段式减压阀SUS316
AK一般气体用二段式减压阀SUS316
AK一般气体用气控型减压阀SUS316
BP高纯度用背压阀SUS316
BP一般气体用背压阀SUS316

隔膜阀　高纯度工艺气体用 AP

    ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
    ・可作为气体的切断阀使用。
    ・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列名称形式主体材质
AP高纯度工艺气体用气控型隔膜阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用手控型隔膜阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用计量阀SUS316L
二次熔炼
AZ高纯度工艺气体用气控型隔膜阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用手控型隔膜阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用计量阀SUS316L
AK一般气体用气控型隔膜阀SUS316
AK一般气体用手控型隔膜阀SUS316
AK一般气体用计量阀SUS316

单向阀／真空发生器／流量开关 AP/AZ 一般气体用/AK

    ［单向阀］
    ・背压可防止流体的逆流。
    ・结构简单，内部的可动零部件仅限O形圈。
    ・采用无弹簧的结构，可减少因震颤等产生的颗粒，并降低下游侧的压力变动。
    ［真空发生器］
    ・真空发生器
    ・更换钢瓶时，用于排出配管中残余的气体。
    ［流量开关］
    ・检测配管破裂等造成的过剩流量。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列名称主体材质
AP单向阀SUS316L 二次熔炼
AP真空发生器SUS316L 二次熔炼
AP流量开关SUS316L 二次熔炼

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