高真空阀
铝制高真空L型阀 XL□
系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封 方式 | 用途 | 法兰 尺寸 |
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XLA | 气控式 | 单作用 (N.C.) | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16~160 |
XLAV(带电磁阀) | 气控式 | 单作用 (N.C.) | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16~160 |
XLC | 气控式 | 双作用 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16~160 |
XLCV(带电磁阀) | 气控式 | 双作用 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16~80 |
XLF | 气控式 | 单作用 (N.C.) | O形圈密封 | 高速动作 高动作次数 | 16~160 |
XLFV(带电磁阀) | 气控式 | 单作用 (N.C.) | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16~160 |
XLG | 气控式 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16~160 |
XLGV(带电磁阀) | 气控式 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16~80 |
XLD | 气控式 | 单作用 (N.C.) | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25~160 |
XLDV(带电磁阀) | 气控式 | 单作用 (N.C.) | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25~160 |
XLH | 手动式 | 手动 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16~50 |
XLS | 电磁式 | 单作用 (N.C.) | (波纹管平衡) | 无需空气 可搬运装置用 | 16,25 |
产品特点
■Aluminum bodied
Uniform baking temperature
Excellent thermal conductivity results in a uniform temperature for the entire valve body and a marked decrease in the condensation of gases inside the valve.
![](/newproducts/en/xla/images/02.jpg)
Lightweight, Compact
Large conductance, small body, excellent resistance against fluorine corrosion (body)
![](/newproducts/en/xla/images/03.jpg)
Low outgassing
Low outgassing makes it possible to use a lower capacity pump and also to shorten exhaust time.
Little heavy metal contamination
The valve does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome) and a low sputtering yield also helps to minimize heavy metal contamination of semiconductor wafers.