温控器（循环液温控装置）
温控器/标准型 HRS
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS012〜060 | 5～40℃ | 1.3kW, 1.9kW, 2.4kW 3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW （60Hz时） | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/低温型 HRS040-A-20-T1-X158/X164
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS040-A-20-T1-X158 HRS040-A-20-T1-X164 | −10～40℃ | 1kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 乙二醇水溶液（50%） |
温控器/耐环境规格 HRS-R
-
・对应有粉尘、飞沫、水的环境
・电装部分防护等级：IP54
・金属面板
外装部全部为金属面板
可选择不锈钢面板（可选项）
・可选择大容量储液罐（12L）（可选项）
・环境温度：5～45℃
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS-R | 5～40℃ | 1.9kW, 2.9kW, 5kW （60Hz时） | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液（15%） |
温控器/标准型 HRS090
-
・轻量・紧凑
・冷却能力：9kW
・温度稳定性：±0.5°C
・设定温度范围：5～35°C
・最高使用环境温度：45°C
・电源：三相AC200～230V、AC380～415V、AC460～480V
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS090 | 5～35℃ | 9kW（60Hz时） | ±0.5℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/标准型 HRS100/150
-
・无需加热器，也可通过冷冻回路的排热作用加热循环液
・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
・静音设计：70dB（A）
・室外设置：IPX4
・小型・省空间
※提供样机试用服务
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS100 HRS150 | 5〜35℃ | 9.5kW, 14.5kW （60Hz时） | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
标准型温控器 风冷460V规格 HRS200
-
・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)
・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。
・可设置于室外：IPX4
・体积小、省空间
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS200 | 5〜35℃ | 20.5kW | ±1.0℃ | 风冷冷冻式 | 清水 去离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/标准型 HRS400
-
・冷却能力：38kW
・电源：3相 380～415V（50Hz/60Hz）
3相 460～480V（60Hz）
・设定温度范围：5～35℃
・最高使用环境温度：45℃
・温度稳定性：±0.1℃
・带加热功能
・浸液式泵（无机械式密封）
・防水结构：IPX4
・采用触摸屏 设定、操作、可视性提高
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS400 | 5〜35℃ | 38kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/变频型 HRSH090
-
・消耗功率减小53%。
三变频实现了出色的节能效果！
・冷却能力：9.5kW（风冷）、11.0kW（水冷）
・温度稳定性：±0.1℃
・温度设定范围：5℃〜40℃
※提供样机试用服务
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSH090 | 5～40℃ | 9.5kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/变频型 HRSH
-
・三变频实现了出色的节能效果！
・可设置于室外的防滴规格（IPX4）
・最高使用环境温度 45℃
・最低使用环境温度 -20℃（风冷式）
・温度稳定性 ±0.1℃（负载稳定时）
・省空间、重量轻 280kg（25kW型）
・符合CE标识、UL
※提供样机试用服务
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSH | 5～35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（15％） |
温控器/基本型 HRSE
-
・三重控制实现了大幅节能！
消耗功率降低33%
・体积小、重量轻 32kg （AC100V规格）
・无需维护：磁力泵
・静音设计：55dB（A）
※提供样机借用服务
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|
| HRSE | 风冷冷冻式 | 1.2kW, 1.6kW, 2.2kW （60Hz时） | ±2.0℃ | 风冷冷冻式 |
温控器/激光用精密型 HRL
-
・1台温控器可对2个系统分别控制
・省空间/省配线
设置面积减小22%
电源系统：只需1个
・节能
消耗功率降低30%
・采用触摸屏
・电源：三相AC200V（50Hz）
三相AC200～230V（60Hz）
三相AC380〜415V（50/60Hz）
三相AC460～480V（60Hz）
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRL100 HRL200 HRL300 HRL400 | CH1:5～35℃ CH2:10～40℃ | CH1:9kw,19kW,26kW,37kW CH2:1.0kW(最大1.5kW) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | CH1:清水 CH2:清水、脱离子水（纯水） |
温控器/激光用小型双通道型/基本型 HRLE
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 （通道1,、2总共） | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRLE050-A | 通道1:15～25℃ 通道2:通道1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 风冷 冷冻式 | 清水、脱离子水（纯水） |
| HRLE050-W | 通道1:15～25℃ 通道2:通道1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 水冷 冷冻式 | 清水、脱离子水（纯水） |
| HRLE090-A | 通道1:15～25℃ 通道2:通道1温度 ＋ 0～15℃ | 8.0kW/9.5kW （50Hz/60Hz） | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 风冷 冷冻式 | 清水、脱离子水（纯水） |
| HRLE090-W | 通道1:9kw,19kW,26kW 通道2:1.0kW（最大1.5kW） | 9.5kW/11.0kW （50Hz/60Hz） | 通道1:±0.1 通道2:±0.5 | 水冷 冷冻式 | 清水、脱离子水（纯水） |
温控器/机架安装型 HRR
-
・可在安装于机架的状态下作业
前面拆装：可从前面设定、调整、维护
・省空间
19英寸机架上可安装数台
・冷却能力：1.2/1.8/2.4/3.0kW/5.1kW（60Hz）
・温度稳定性：±0.1℃
・全球通用电源：单相AC100V（50/60Hz）/单相AC115V（60Hz）
单相AC200～230V（50/60Hz）
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRR | 10～35℃ 15～35℃ | 1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW | ±0.1℃ | 风冷冷冻式 水冷冷冻式 | 清水 乙二醇水溶液（15％） |
符合欧盟F-Gas（含氟气体）法规的冷冻式温控器 HRZ-F
-
・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
・节能
按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
消耗功率：Max65％削減
冷却水量：Max67％削減
・高性能
温度稳定性：±0.1℃（负载稳定时）
冷却时间：最多缩短46％（与本公司产品相比）
・使用冷媒：R410A（HFC）／R448A（HFC/HFO）
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ-F | －20～40℃ 10～60℃ －20～90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液 清水及去离子水（纯水） |
温控器/高性能型 HRZ
-
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
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| シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
温控器/高性能变频型 HRZ
-
・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
双温控器/高性能变频型 HRZD
-
・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间：设置面积减小23％
・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
对应低GWP冷媒的冷冻式温控器 HRZF
-
・对应低GWP冷媒
GWP：148※ ※ IPCC AR4基准
EU冷媒管制：GWP 150以上
美国冷媒管制：GWP 700以上
加利福尼亚州冷媒管制：GWP 750以上
・环境对应冷媒R454C（不可空运）
・采用DC变频冷冻机和变频泵，实现大幅度节能。
| 系列 | 设定温度范围 | 冷却能力 | 温度稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZF010 | -20〜90℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇60％水溶液 |
水冷式温控器/高性能型 HRW
-
・与工厂内循环水直接热交换
・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，
在半导体过程控制装置上成果较多
・符合UL、SEMI标准、CE认证
・可选择变频型
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| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 （无压缩机） | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
