气源处理元件
直通型空气过滤器 ZFC5□/7□-X05
| 系列 | 适合管子外径 公制 | 适合管子外径 英制 | 流量 L/min（ANR）注） 正压 | 流量 L/min（ANR）注） 真空压 | 过滤精度 （μm） |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC5□-X05 | φ4、φ6 | φ5/32''、φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
| ZFC7□-X05 | φ6、φ8 、φ10、φ12 | φ1/4''、φ5/16''、φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
洁净型气体过滤器 SF
| 形式 | 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|---|
| 夹头型 圆盘式 | SFA100・200・300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 夹头型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 多盘型 | SFC100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
洁净型空气过滤器 中空类滤芯 SFD
| 系列 | 种类 | 额定流量 L/min (ANR) (进口压力 0.7 MPa时) | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|---|---|
| SFD100 | 一次性 （不可更换滤芯） | ～100L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm （捕捉效率：99.99%） |
| SFD110 | 一次性 （不可更换滤芯） | ～120L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm （捕捉效率：99.99%） |
| SFD200 | 卡盒型 （可更换滤芯） | ～500L/min | 最高1.0MPa | 0.01μm （捕捉效率：99.99%） |
洁净型空气模块 LLB
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・将洁净元件模块化（削减配管工时／省空间）。
可轻松地得到洁净空气。
・过滤精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。
・接触流体部分：无润滑脂、无硅。
・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
・有24种组合。
注）入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1～1.6.1。
| 系列 | 使用流体 | 设定压力 | 流量范围 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | 洁净空气 N2气体 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | 洁净空气 N2气体 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
洁净型空气模块 LLB-X100
| 系列 | 使用流体 | 流量范围L/min（ANR） |
|---|---|---|
| LLB1-525 | 洁净空气 N2气体 | 0.5〜25 |
| LLB1-550 | 洁净空气 N2气体 | 1〜50 |
| LLB1-511 | 洁净空气 N2气体 | 2〜100 |
