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|高真空機器
アルミ製高真空L型バルブ
XLA/C-100・160（-1）-X152 2018/9
XLA/C-100・160（-1）-X152 2018/9
- ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
- 寿命：200万回
- 装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
取付姿勢の自由度アップ - 軽量・コンパクト
300mmウエハ対応
平行シール型スリットバルブ
XGTP Series 2018/1
平行シール型スリットバルブ
XGTP Series 2018/1
- 長寿命：300万回（常温時）
- 発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
- メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド） - 安全対策
メカ式エンドロック機構採用
