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直動形2ポートソレノイドバルブ VX2
流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
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・空気・中真空・水・油・蒸気（温水も可）
・流量20％UP※
・高さ寸法10％Down※
・質量30％Down※
・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS
・ワンタッチ管継手付（樹脂ボディ）を用意。
※当社従来品比較。
・マニホールド型式：VVX21，VVX22，VVX23
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VX21/22/23 | N.C.／N.O. | 1/8～1/2 φ6～φ12 | 2～10 |
サーモチラー／インバータタイプ HRSH
産業用通信機器／無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器／無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
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・トリプルインバータで抜群の省エネ効果！
・屋外設置：防滴型（IPX4）
・最高使用周囲温度 45℃
・最低使用周囲温度 -20℃（空冷式の場合）
・温度安定性 ±0.1℃（負荷安定時）
・省スペース、軽量280kg（25kWタイプ）
・CEマーキング、ULに適合
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSH | 5～35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（15％） |
水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 （冷凍機なし） | フッ素化液 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（60％） |
イオナイザ IZS31
静電気対策機器／イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器（除電機器）イオナイザ バータイプ
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・除電時間0.3秒。
・3種類のセンサを選択可能。
・フィードバックセンサによる高速除電。
・オートバランスセンサによるオフセット電圧制御。
・高精度タイプ：ワーク位置のオフセット電圧を正確に制御します。
・本体取付タイプ：アース戻り電流検知により、イオナイザ本体に取付けた状態で使用できます。
・用途に合せてカートリッジを選択可能。
・除電速度重視の高速除電タイプ。
・メンテナンスサイクルを向上するローメンテタイプ。
| シリーズ | イオン発生方式 | イオンバランス |
|---|---|---|
| IZS31 | コロナ放電式 | ±30V（ステンレス電極計の場合±100V） |
水用流量コントローラ FC2W-X110
スイッチ／センサ／コントローラ » コントローラ
| シリーズ | 流量制御範囲(L/min) | 流量測定範囲(L/min) |
|---|---|---|
| FC2W-X110 | 0.5～4.0 2.0～16.0 | 0.4～4.2 1.6～16.8 |
フロースイッチ／パドル式 IF3
スイッチ／センサ／コントローラ » 機械式フロースイッチ
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・冷却設備等の汎用断水、減水リレーなどで使用。
・3/4B～6Bまでの配管に適用
・IP42相当、IP44相当に対応。
| シリーズ | 定格流量範囲（L/min） |
|---|---|
| IF3 | 14～60 20～1500 36～2600 |
2色表示式デジタルフロースイッチ PFMB
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式フロースイッチ／センサノングリース 窒素（N2）対応機器 » フロースイッチ
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・乾燥空気、N2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、省スペース。
※PFMB7201シリーズは2021年9月に生産終了しました。
PF2M721シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 定格流量範囲 (L/min) |
|---|---|
| PFMB | 5～500 10～1000 20～2000 |
小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
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・PSEセンサセットアップツールPSE-ST Series追加 [New]
・スイッチ出力仕様
・IO-Link対応
・アナログ出力（電圧）
| シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
|---|---|---|
| PSE541 | 真空圧 | 0～－101kPa |
| PSE543 | 連成圧 | －100～100kPa |
| PSE540 | 正圧 | 0～1MPa |
3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）IO-Link対応機器 » 圧力スイッチ
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
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・20A Seriesに微差圧レンジを追加 [New]
・M12コネクタ タイプを追加
・微圧レンジを追加
・R1/8継手一体型 配線下取出し仕様
・設定項目の見える化
・簡単3ステップ設定
・簡単画面切替
測定値を見ながら設定可能
・ディレー時間：最速1.5ms以下
・IO-Link対応
| シリーズ | 出力形式 | 種類 | 定格圧力範囲 | 保護構造 | 適用流体 |
|---|---|---|---|---|---|
| ZSE20 (F) ISE20 | 1出力 | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPa | IP40 | 空気 |
| ZSE20A (F) ISE20A | 2出力、アナログ出力（電圧／電流） | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPa | IP40 | 空気 |
| ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド) | 2出力、アナログ出力（電圧／電流） | 連成圧 | −50.0〜50.0Pa、−100.0〜100.0Pa、−200〜200.0Pa | IP40 | 空気 |
| ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド) | 2出力、アナログ出力 （電圧／電流） | 連成圧 | −500〜500Pa、 −1.000〜1.000kPa、 −2.00〜2.00kPa、 −5.00〜5.00kPa、 −10.00〜10.00kPa | IP40 | 空気 |
| ZSE20B (F)-(L) E20B-(L) | 2出力、アナログ出力（電圧／電流）、IO-Link対応、スイッチ1出力 | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPa | IP65 | 空気 |
| ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L) | 2出力、アナログ出力（電圧／電流）、IO-Link対応、 スイッチ1出力 | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPa、−0.100～2.000MPa | IP65 | 汎用流体 |
