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サーモチラー/耐環境仕様 HRS-R
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)スタンダートタイプ ベーシックタイプ
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・粉塵・飛沫水環境に対応
・電装部保護等級:IP54
・金属パネル
外装部は全面金属パネル
ステンレスパネルの選択が可能(オプション)
・大容量タンク(12L)の選択が可能(オプション)
・周囲温度:5~45℃
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRS-R | 5~40℃ | 1.9kW, 2.9kW, 5kW (60Hzの場合) | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 | 清水 エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/高機能タイプ HRZ
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器
産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品
マレーシア・日本のみ限定出荷品

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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) 清水・脱イオン水(純水) |
イオナイザ/ノズルタイプ IZN10E
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器(除電機器)イオナイザ ノズルタイプ-
・薄型:16mm(厚さ)×100mm(幅)×46mm(高さ)
・軽量:33%削減 120g→80g
・オフセット電圧:±10V
・用途に応じたノズル選択可能。
省エネノズル(近距離除電)
大流電ノズル(遠距離除電)
シリーズ | イオン発生方式 | オフセット電圧 (イオンバランス) |
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IZN10E | コロナ放電式 | 省エネノズル:±10V以内 大流量ノズル:±15V以内 |
汎用圧力スイッチ/スナップスイッチ式 ISG
スイッチ/センサ/コントローラ » 機械式圧力スイッチ
シリーズ | 種類 | 設定圧力範囲 |
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ISG11□, 21□ | 正圧 | 0.02~0.3MPa |
ISG12□, 22□ | 正圧 | 0.05~0.7MPa |
ISG13□, 23□ | 正圧 | 0.1~1.0MPa |
IS2761 | 正圧 | 0.1~1.0MPa |
ISG19□, 29□ | 真空圧 | -10~-100kPa |
微差圧センサ PSE550
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)
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・風量管理、フィルタの目詰まり、液面検出等の用途に適応。
・アナログ出力(電圧/電流)
シリーズ | 種類 | 定格差圧範囲 |
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PSE550 | 真空圧 | 0~2kPa |
D.P.ルブ ALD
潤滑機器 » 潤滑機器
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・多点潤滑の集中管理。
・少ない潤滑油消費量。
・差圧を調整するだけの簡単な給油量の設定。
・給油プラグの開閉だけでエアラインを止めずに油の補給が可能。
・給油孔より、マイクロミストの発生状況が確認可能。
シリーズ | タイプ | 管接続口径 | 貯油量(cm3) |
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ALD600・900 | 単体 | 3/4,1,1 1/4,1 1/2,2 | 2000,5000 |
ALDU600・900 | ユニット | 3/4,1,1 1/4,1 1/2,2 | 2000,5000 |
ウォータセパレータ AMG
圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
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・圧縮空気中の水滴を除去します。
・水分除去率:99%
・簡単! お手軽! 空気ラインにつなぐだけで水分を除去!
詳細は こちら
シリーズ | 処理空気量 L/min(ANR) | 管接続口径 |
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AMG | 300~12000 | 1/8~2 |
電動アクチュエータ/高剛性スライダタイプ ボールねじ駆動 11-LEJS
クリーン/低発塵 » 電動アクチュエータ電動アクチュエータ/電動シリンダ » 環境

クリーンシリーズ
・薄形低重心:高さ寸法 約36%減(32mm減)
・最大可搬質量:85kg
・繰返し位置決め精度:±0.02mm
・最大加減速度:20000mm/S2
・クリーン仕様
・モータレス仕様を用意 詳細は こちら
仕様 | シリーズ | スト ローク (mm) | 可搬 質量 (kg) 水平 | 速度 (mm/s) | ねじ リード (mm) |
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ACサーボモータ | 11-LEJS40 | 200~ 1200 | MAX. 55 | MAX. 1200 | 8,16 |
ACサーボモータ | 11-LEJS63 | 300~ 1500 | MAX. 85 | MAX. 1200 | 10,20 |
電動グリッパ 2爪タイプ(Fタイプ) LEHF
電動アクチュエータ/電動シリンダ » グリッパ
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・簡単設定:位置と推力の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷(アクチュエータ、コントローラセット販売)
・落下防止機能付(全シリーズセルフロック機能付)
・セルフロックにより、消費電力を低減。
・把持確認機能付。
・位置・速度・力の設定(64点)
注)( )内はロングストロークの場合。
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
シリーズ | ボディ サイズ | 開閉 ストローク 両側 (mm) | 把持力[N] 基本 | 把持力[N] コンパクト | 開閉速度 (mm/s) |
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LEHF | 10 | 16(32)注) | 3~7 | 3~7 | 5~80 |
LEHF | 20 | 24(48)注) | 11~28 | 11~28 | 5~100 |
LEHF | 32 | 32(64)注) | 48~120 | 48~120 | 5~100 |
LEHF | 40 | 40(80)注) | 72~180 | 72~180 | 5~100 |
高タクト対応電動アクチュエータ LEFS□F
電動アクチュエータ/電動シリンダ » スライダタイプ-
・サイクルタイムの短縮が可能
サイクルタイム:従来比39%(0.57s←0.93s)削減※
※ LEFS25FH-400を0→400mm(ストローク)で駆動した場合
・加減速度:10000mm/s2(従来比334%)
・最大速度:1500mm/s(従来比25%向上)
仕様 | シリーズ | ストローク (mm) | 可搬質量 (kg) 水平 | 速度 (mm/s) | ねじリード (mm) |
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高タクト対応 ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS16F | 50~500 | MAX.20 | MAX.800 | 5,10 |
高タクト対応 ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS25F | 50~800 | MAX.40 | MAX.1500 | 6,12,20 |
高タクト対応 ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS32F | 50~1000 | MAX.68 | MAX.1300 | 8,16,24 |
高タクト対応 ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS40F | 50~1200 | MAX.75 | MAX.1200 | 10,20,30 |