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エアチャックロータリ駆動形3爪タイプ 11-/22-MHR3/MDHR3

クリーン／低発塵 » エアチャック

    クリーンシリーズ


    ・ロータリアクチュエータを駆動源としたため高さ方向の小型化と高精度化の実現
    ・クリーンルームクラス10に対応可
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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安全上のご注意　適用オートスイッチ一覧
特長/基本仕様/クリーン共通注意事項　エアチャック/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズシリンダ内径 (mm)
11-/22-MHR3呼び 10，15

エアシリンダ 10-/11-/21-/22-CA2

クリーン／低発塵 » エアシリンダ

    クリーンシリーズ

安全上のご注意　適用オートスイッチ一覧
特長/基本仕様/クリーン共通注意事項　アクチュエータ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
型式シリーズ作動方式チューブ内径 (mm)
標準形10-/11-/21-/22-CA2複動片ロッド40，50，63

5ポートソレノイドバルブ 10-SZ

クリーン／低発塵 » 方向制御機器

    クリーンシリーズ



    ※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
    　新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
    　使用をご検討ください。
安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ音速コンダクタンス：Cシリンダ駆動サイズ消費電力 (W)
10-SZ30000.77dm3(s・bar)φ320.6

ラインフィルタ FH

油圧機器 » 油圧用機器
    ・コンパクトで堅牢な安全設計。
    ・容易なエレメント交換。
    ・油の流れ方向を反転可能。
    ・差圧表示器、差圧表示スイッチ（CB-□□H）により目詰まり状態の検知が可能。
安全上のご注意　油圧フィルタ/共通注意事項　ガイド/INDEX　オーダーメイド
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径定格流量 L/min使用圧力（MPa）エレメントμm
（公称ろ過粒度）
FH34ねじ込み（Rc）
3/8～1 1/2
フランジSSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21ペーパー：
5，10，20
FH44ねじ込み（Rc）
3/8～1 1/2
フランジSSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21ペーパー：
5，10，20
FH54ねじ込み（Rc）
3/8～1 1/2
フランジSSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21ペーパー：
5，10，20
FH64ねじ込み（Rc）
3/8～1 1/2
フランジSSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21ペーパー：
5，10，20

丸形油圧シリンダ CHM/CHDM

油圧機器 » 油圧シリンダ
    ・アルミチューブ、アルミカバーの採用で軽量。
    ・オートスイッチ付（CHDMシリーズ：CHDM）
安全上のご注意　油圧シリンダ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　バリエーション　技術資料
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ呼び圧力（MPa）チューブ材質作動方式チューブ内径（mm）
CHM3.5アルミ複動片ロッド20，25，32，40

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGA

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・大流量のろ過（MAX.3200L/min）
  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGA
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGA検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGA25～150（1B～6B）
JIS 10KFF		1MPaMAX.80

アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

高真空機器 » 高真空バルブ
    ・ワンタッチ着脱（工具レス）
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		16～50
XLDQエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		40，50

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

プロセスポンプ クリーンルーム仕様 PA(P)3000

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		接液部材質
PAP3310自動運転型1～13New PFA
（フッ素樹脂）
PAP3313エアオペレート型0.1～9New PFA
（フッ素樹脂）

フッ素樹脂製ニードルバルブ LVN

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブ
    ・材質：New PFA
    ・継手一体構造。
    　ハイパーフィッティング／LQ2シリーズを使用
    ・3重シール構造。
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    2D CAD
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安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリ		適用チューブ外径
インチ		流量調整範囲（L/min）オリフィス径（mmφ）
LVN4～121/8''～1/2''0～124.4～10

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