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ガイド付薄形シリンダ 12-/13-/21-/22-MGPL-Z

クリーン／低発塵 » エアシリンダ

    クリーンシリーズ

  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　適用オートスイッチ一覧　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項　アクチュエータ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　オートスイッチ取付および移動方法（P1386〜P1405）　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズ軸受種類チューブ内径 (mm)
標準形12-/13-/21-/22-MGPL-Zボールブッシュ軸受12，16，20，25， 32，40，50，63

集塵機用2ポートソレノイドバルブ/エアオペレートバルブ VXF2/VXFA2

流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
製品特長
    ・配管方式
    　フランジ型、フランジボディ型、直管型
    ・2次側のオリフィス加工不要で配管工数削減に貢献。(フランジボディ型)
    ・保護構造：IP65※
    　※リード線取出し平形ターミナルタイプ端子部はIP40
    ・高温対応：使用流体温度100℃
    ・平形ターミナルタイプ追加。
    ・専用コントローラ VXFCシリーズを用意。
  • 2D/3D CAD

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  • 集塵機用2ポートソレノイドバルブ/エアオペレートバルブ VXF2/VXFA2
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VXF2検索結果を表示
    VXFA2検索結果を表示
  • 集塵機用2ポートソレノイドバルブ/エアオペレートバルブ VXF2/VXFA2
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VXF2検索結果を表示
    VXFA2検索結果を表示
安全上のご注意　流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項
機器選定・流量特性　バリエーション/選定手順/一覧表　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径（mmφ）
VXF2N.C.20A～100A22～100
VXFA2N.C.20A～100A22～100

3色表示電磁式デジタルフロースイッチ LFE□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式フロースイッチ／センサ
製品特長
    ・適用流体：水、水溶性クーラント
    ・コンパクト・軽量
    　高さ：56mm、幅：40mm
    　質量：340g（LFE1□3の場合）
    ・圧力損失：0.02MPa以下
    ・密接設置が可能
    ・絶縁型を用意
    　配線時の接地を選びません
    ・逆流検知が可能
    ・使用流体温度：0〜85℃
  • 2D/3D CAD

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  • 3色表示電磁式デジタルフロースイッチ LFE□
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    LFE□検索結果を表示
  • 3色表示電磁式デジタルフロースイッチ LFE□
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    LFE□検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
フロースイッチバリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ定格流量範囲（L/min）
LFE□0.5～20
2.5～100
5～200

Uni-ワンタッチ管継手付スピードコントローラ AS

駆動制御機器 » 汎用スピードコントローラ
    ・ガスケットシール方式のため、ねじ込み作業時間を1/3にする新しい管用ねじ。
    ・Rc, G, NPT, NPTFに適用。
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　駆動制御機器/共通注意事項　バリエーション
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
タイプシリーズシリンダ側
接続口径		適用チューブ外径
ミリサイズ		適用チューブ外径
インチサイズ
Uni-ワンタッチ
管継手		AS□□□1F-U□1/8～1/2φ3.2～φ12φ1/8''～φ1/2''

フッ素樹脂製ボアスルーコネクタ LQHB

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブ
管継手＆チューブ » 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 管継手
製品特長
    ・チューブ位置決めが自由。
    　チューブは継手本体を貫通しているため、自由な位置でセット可能。
    ・半導体製造工程における薬液の圧送等に使用可能。
    ・酸・アルカリ・超純水などの薬液に対応可能。
    ・材質：New PFA（本体、ナット）、PTFE（コレット）
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　バリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリサイズ		適用チューブ外径
インチサイズ		使用温度（℃）
LQHBφ3～φ25φ1/8''～φ1''0～200

精密レギュレータ IR1000-A/2000-A/3000-A

モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ
圧力制御機器 » レギュレータ
製品特長
    ・空気消費量：最大約90％削減(従来品比較)
    ・大流量：最大約2倍(従来品比較)
    ・軽量：最大約27％削減(従来品比較)
    ・感度：0.2％(フルスパン)
    ・繰返し性：±0.5％(フルスパン)
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　F.R.L/共通注意事項　製品選定ガイド　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径設定圧力（MPa）
IR1000-A1/80.005～0.2
0.01～0.4
0.01～0.8
IR2000-A1/40.005～0.2
0.01～0.4
0.01～0.8
IR3000-A1/4，3/8，1/20.01～0.2
0.01～0.4
0.01～0.8

マイクロミストセパレータ AFD-A

モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.
モジュラF.R.L. » エアフィルタ/ミストセパレータ/マイクロミストセパレータ
製品特長
    ・視認性＆安全性向上
    　透明ケースガードでケース全周を覆いました。

    ※AFD-Aは2025年3月に生産終了予定です。
    　AFD-Dをご選定願います。▶詳細はこちら
  • 2D/3D CAD

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  • マイクロミストセパレータ AFD-A
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    AFD20～40-A検索結果を表示
安全上のご注意　F.R.L/共通注意事項　製品選定ガイド　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　エレメント品番一覧
シリーズ管接続口径ろ過度（μm）
AFD20～40-A1/8，1/4，3/8，1/2，3/40.01

パネル固定用真空パッド ZP2

真空用機器 » 真空パッド
    パネル、ガラス基板等のステージ吸着固定に使用
  • 2D/3D CAD

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シリーズパッド種類パッド径(mm)
ZP2パネル固定用
真空パッド		−

バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ　　　　　
電動グリッパ 2爪タイプ（Fタイプ） LEHF

電動アクチュエータ／電動シリンダ » バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
製品特長
    ・停止位置からの再始動が可能
    ・電源復帰時の運転再開を容易に！
    　電源遮断時でもエンコーダが位置情報を保持しているため、電源再投入時の原点復帰は不要。
    ・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
    　位置情報保持にバッテリを使用しないため、予備バッテリの管理やメンテナンス交換が不要。
    ・落下防止機能付（全シリーズセルフロック機能付）
    ・セルフロックにより、消費電力を低減。
    ・把持確認機能付。

    注）（　）内はロングストロークの場合。
  • 2D/3D CAD

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  • バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ　　　　　
    電動グリッパ 2爪タイプ（Fタイプ） LEHF
    取扱説明書
    シリーズ ボディサイズ 検索結果を表示
    LEHF32検索結果を表示
    LEHF40検索結果を表示
安全上のご注意　電動アクチュエータ/共通注意事項
特長　バリエーション　簡易選定フロー　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　CE,UKCA/UL対応表　システム構成図
シリーズボディサイズ開閉ストローク
両側
（mm）		把持力［N］
基本		把持力［N］
コンパクト		開閉速度
（mm/s）
LEHF3232（64）注）48～12048～1205～100
LEHF4040（80）注）72～18072～1805～100

スライドガイド方式3爪タイプエアチャック MHS3

ロータリアクチュエータ／エアチャック » エアチャック（平行開閉形）
    ・クサビ形カム構造により高さ方向が小形、軽量。
    ・圧入など外力の加わる作業に最適。
    ・繰返し精度　±0.01mm
    ・ロングストローク：標準の2倍以上のストローク。
    ・円筒形ワークの把持。
    ・スルーホール、センタプッシャ付により確実なワークの離脱が可能。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • スライドガイド方式3爪タイプエアチャック MHS3
    取扱説明書
    タイプ シリーズ 検索結果を表示
    複動形MHS3検索結果を表示
    単動形MHS3-X84
    ダストカバータイプMHSJ3検索結果を表示
    スルーホールタイプMHSH3検索結果を表示
    ダストカバー＋スルーホールタイプMHSHJ検索結果を表示
    ロングストロークMHSL3検索結果を表示
安全上のご注意　エアチャック/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　エアチャックバリエーション/機種選定
早見選定表　エアチャックオーダーメイド　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
タイプシリーズシリンダ内径（mm）
複動形MHS316，20，25，32，40，50，63，80，100，125
単動形MHS3-X8416，20，25，32，40，50，63
ダストカバータイプMHSJ316，20，25，32，40，50，63，80
スルーホールタイプMHSH316，20，25，32，40，50，63，80
ダストカバー＋スルーホールタイプMHSHJ16，20，25，32，40，50，63，80
ロングストロークMHSL316，20，25，32，40，50，63，80，100，125

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