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スリットバルブ XGT
高真空機器 » スリットバルブ
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
| シリーズ | 使用環境圧力 Pa（abs） | 使用流体 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
| シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常時閉 （加圧開・スプリングシール） | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152
高真空機器 » 高真空バルブ
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・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
・寿命：200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100，160 |
| XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100，160 |
ペルチェ式サーモコン HEC
温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
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・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HEC | 10～60℃ | 230W 600W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式空冷 | 清水 |
| HEC | 10～60℃ | 140W 320W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 エチレングリコール水溶液（20％） |
| HEC | 10～60℃ | 600W 1200W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 フッ素化液 |
レーザ用小型デュアル／ベーシックタイプ HRLE
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）レーザ用デュアルタイプ
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・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
・省スペース/省配線
設置面積21%削減
電源系統：1系統でOK
・省エネルギー
省エネ 消費電力17%削減
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力（CH1, 2合計） | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRLE050-A | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE050-W | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE090-A | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 8.0kW/9.5kW （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE090-W | CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW（最大1.5kW） | 9.5kW/11.0kW （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
ノンメタルポンプ／複動ポンプ PAF
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » フッ素樹脂製プロセスポンプ
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※PAF3410-X68は締結ボルト、エア切換弁：ステンレス仕様です。
フッ酸等オールノンメタルポンプが必要な場合はPAF標準品をご使用ください。
| シリーズ | 駆動方式 | 吐出量 （L/min） | 接液部材質 |
|---|---|---|---|
| PAF3410 | 自動運転型 | 1～20 | New PFA （フッ素樹脂） |
| PAF3413 | エアオペレート型 | 1～15 | New PFA （フッ素樹脂） |
| PAF3410-X68 | 自動運転型 | 1～20 | New PFA （フッ素樹脂） |
| PAF5410 | 自動運転型 | 5～45 | New PFA （フッ素樹脂） |
| PAF5413 | エアオペレート型 | 5～38 | New PFA （フッ素樹脂） |
プロセスポンプ PA5000
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
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・小型／省エネ／吐出量アップのボディ材質
ポリプロピレン（PP）を追加
・小型：高さ185mm× 幅134mm× 奥行202mm
・軽量：3.0kg(ポリプロピレン)
・接液ボディ材質
PP（ポリプロピレン）/アルミニウム/ステンレスから選択可能
・自動運転型／エアオペレート型を用意
・自給式で呼び水不要
| シリーズ | 駆動方式 | 吐出量 （L/min） | ボディ接液部材質 |
|---|---|---|---|
| PA50□□ | 自動運転 エアオペレート | 63 | ポリプロピレン（PP） |
| PA51□□ | 自動運転 エアオペレート | 60 | アルミニウム（ADC12） |
| PA52□□ | 自動運転 エアオペレート | 60 | ステンレス（SCS14） |
塩化ビニル製急速排水バルブ LVW
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 塩化ビニル製バルブ
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・JIS規格 塩化ビニル製配管対応（JIS K 6742）
・適応流体：脱イオン水（純水）、薬液
・接液部材質：PVC（ボディ）
PTFE（ポペット）
FKM（Oリング：標準）
EPDM（Oリング：オプション）
・流量特性：Cv値 10～198
・ユニオン接続により配管が容易。
| シリーズ | 適用チューブ外径 | オリフィス径 | 弁形式 |
|---|---|---|---|
| LVW60 | φ32（呼び径25A） | φ25 | 複動 |
| LVW80 | φ38（呼び径32A） | φ40 | 複動 |
| LVW80 | φ48（呼び径40A） | φ40 | 複動 |
| LVW90 | φ60（呼び径50A） | φ65 | 複動 |
| LVW90 | φ75（呼び径65A） | φ65 | 複動 |
| LVW90 | φ89（呼び径80A） | φ80 | 複動 |
薬液用エアオペレートバルブ／ねじ込み型 LVA
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
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・ボディ材質：New PFA／SUS／PPS
・ダイヤフラム材質：PTFE，EPR，NBR選択可能。
・有機溶剤対応
ボディ：SUS、アクチュエータ部：ADC、バッファ：FKM/EPDM選択
・マニホールド型式：LLA2，LLA3，LLA4，LLA5
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 管接続口径 適用チューブ外径 | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| LVA | エアオペレートタイプ ねじ込み型 | N.C.／N.O.／複動 | 1/8～1 | 2～22 |
| LVA | エアオペレートタイプ 有機溶剤対応 | N.C.／N.O.／複動 | ミリ：6～19 インチ：1/4～1 | 4～22 |
