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シリンダポジショナ IP200

計装用補助機器 » ポジショナ
    ・サーボ機構によりシリンダの位置を安定して正確に制御可能。
    ・一般産業機械のシリンダ位置制御にも使用可能。
安全上のご注意　オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径供給空気圧力 (MPa)入力圧力 (MPa)
IP200Rc1/40.3～0.70.02～0.1

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGA

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・大流量のろ過（MAX.3200L/min）
  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGA
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGA検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGA25～150（1B～6B）
JIS 10KFF		1MPaMAX.80

アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

高真空機器 » 高真空バルブ
    ・ワンタッチ着脱（工具レス）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		16～50
XLDQエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		40，50

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

プロセスポンプ クリーンルーム仕様 PA(P)3000

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		接液部材質
PAP3310自動運転型1～13New PFA
（フッ素樹脂）
PAP3313エアオペレート型0.1～9New PFA
（フッ素樹脂）

フッ素樹脂製ニードルバルブ LVN

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブ
    ・材質：New PFA
    ・継手一体構造。
    　ハイパーフィッティング／LQ2シリーズを使用
    ・3重シール構造。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリ		適用チューブ外径
インチ		流量調整範囲（L/min）オリフィス径（mmφ）
LVN4～121/8''～1/2''0～124.4～10

薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
    ・小型・省スペースタイプをラインナップ。
    　配管方向寸法MAX.29％短縮。
    ・ボディ材質：New PFA
    ・ダイヤフラム材質：PTFE
    ・アクチュエータ部材質：PPS，PVDF（LVD-F/FN）

    注）チューブ出しはチューブ外径。
  • 2D/3D CAD

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  • 薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    LVD継手一体型検索結果を表示
    LVDチューブ出し検索結果を表示
    LVD-F/FNLQ1継手一体型検索結果を表示
    LVD-F/FNLQ3継手一体型検索結果を表示
    LVD-F/FNチューブ出し検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ
外径 注）
ミリ		適用チューブ
外径 注）
インチ		オリフィス径
（mmφ）
LVD継手一体型N.C.／N.O.／複動3～191/8～3/42～16
LVDチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～191/4～3/44～16
LVD-F/FNLQ1継手一体型N.C.／N.O.／複動3～251/8～14～22
LVD-F/FNLQ3継手一体型N.C.／N.O.／複動6～251/4～14～22
LVD-F/FNチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～251/4～14～22

薬液用エアオペレートバルブ JLV20/30/40/50

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
製品特長
    ・パーティクルの発生を抑制/フットプリント削減に貢献
    　特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑えます。
    　フットプリント削減(従来比)：バルブ幅20％削減、取付ピッチ45％削減。
    ・高圧/高背圧対応
    　使用圧力：0～0.5MPa　背圧：0～0.5MPa(従来比66%向上)
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ外径
インチ		オリフィス径
（mmφ）
JLVエアオペレートタイプ
継手一体型		N.C.1/4，3/8，1/2，3/44，8，10，16

高圧用クーラントバルブ VNH

流体制御用機器 » クーラント用バルブ
    ・工作機械等の高圧クーラント（切削液）制御用。
    ・最高使用圧力：3.5MPa、7MPa
    ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。
  • 2D/3D CAD

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  • 高圧用クーラントバルブ VNH
    取扱説明書
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  • 高圧用クーラントバルブ VNH
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
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安全上のご注意　流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項
機器選定・流量特性　バリエーション/プロセス・クーラントバルブ一覧表
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径（mmø）
VNHN.C.3/8～13.9～15.7

高速2ポートバルブ SX10

流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ
製品特長
    ・高速応答：ON時 0.45ms、OFF時 0.4ms(±0.05ms)
    ・長寿命 50億回以上
    ・高頻度 1200Hz
    ・薄型 9mm
    ・低消費電力 4W
安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量消費電力 (W)最高作動頻度 (Hz)
SX105080
40
10
4		1200
1000
550
350
SX1010080
40
10
4		650
550
300
200
SX1015080
40
10
4		600
500
250
150

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