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NAMUR規格準拠 5ポートソレノイドバルブ VFN2000N
計装用補助機器 » ソレノイドバルブ
シリーズ | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) C | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) Cv | 消費電力(W) |
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VFN2000N | 4.57 | 0.17 | 1.06 | 1.8 |
ロックアップバルブ IL201/211/220
計装用補助機器 » リレー/バルブ
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・空気式プロセス制御系において空気源や供給空気配管系の異常発生時に使用。
単動形、複動形:空気源が正常状態に回復するまで、操作部の位置を応急保持
三方形: 異常発生時に供給ポートを切り換え
シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力 (MPa) | 遮断空気回路圧力 |
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IL201・211・220 | Rc1/4 | 0.14~0.7 | MAX,0.7MPa |
フィルタレギュレータ オーダーメイド仕様 AW30~AW60-X430/X440
計装用補助機器 » 減圧弁
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・特殊温度環境
寒冷地域および熱帯地域などの環境条件下で
耐えられるように、パッキンや樹脂部品などを
特殊材料に変えています。
シリーズ | 環境 | 管接続口径 | 設定圧力(MPa) | ろ過精度 |
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AW30~AW60-X430 | 低温環境用 -30~60℃ | 1/4~1 | 0.05~0.85 0.02~0.2 | 5μm |
AW30~AW60-X440 | 高温環境用 -5~80℃ | 1/4~1 | 0.05~0.85 0.02~0.2 | 5μm |
スマートポジショナ/外部信号入力仕様 IP8101-X419-□
計装用補助機器 » ポジショナ種類 | シリーズ | タイプ | 管接続口径 (Rc, NPT, G) | 供給空気圧力 (MPa) | 入力電流 |
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スマートポジショナ | IP8101-X419-□ | 外部信号入力タイプ | 1/4 | 0.3~0.7 | 4~20mADC |
スリットバルブ XGT
高真空機器 » スリットバルブ
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
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XGT | 大気圧~10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素(N2)対応機器 » 高真空バルブ

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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XVD | 常時閉 (加圧開・スプリングシール) | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160(-1)-X152
高真空機器 » 高真空バルブ-
・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
・寿命:200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
ペルチェ式サーモコン HEC
温調機器 » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)
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・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HEC | 10~60℃ | 230W 600W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 | 清水 |
HEC | 10~60℃ | 140W 320W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 エチレングリコール水溶液(20%) |
HEC | 10~60℃ | 600W 1200W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 フッ素化液 |
レーザ用小型デュアル/ベーシックタイプ HRLE
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)レーザ用デュアルタイプ-
・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
・省スペース/省配線
設置面積21%削減
電源系統:1系統でOK
・省エネルギー
省エネ 消費電力17%削減
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力(CH1, 2合計) | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRLE050-A | CH1:15~25℃ CH2:CH1温度 + 0~15℃ | 4.8kW/5.8k (50Hz/60Hz) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水(純水) |
HRLE050-W | CH1:15~25℃ CH2:CH1温度 + 0~15℃ | 4.8kW/5.8k (50Hz/60Hz) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水(純水) |
HRLE090-A | CH1:15~25℃ CH2:CH1温度 + 0~15℃ | 8.0kW/9.5kW (50Hz/60Hz) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水(純水) |
HRLE090-W | CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW(最大1.5kW) | 9.5kW/11.0kW (50Hz/60Hz) | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水(純水) |