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水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW

産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器　DeviceNet 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
    ・工場内循環水との直接熱交換器。
    ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
    ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
    　半導体プロセス装置に実績多数。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
    ・インバータタイプの選択可能。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
  • 2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • 水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW    		検索結果を表示
  • 水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW    		検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRW20～90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW		±0.3℃水冷却式
（冷凍機なし）		フッ素化液
清水
脱イオン水（純水）
エチレングリコール水溶液（60％）

IO-Linkマスタ EX600-GILB-X60

IO-Link対応機器 » IO-Linkマスタ
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器　IO-Link 対応機器
    ・IO-Linkバージョン V1.1
    ・プロセスデータ長 32バイト入力／32バイト出力 (1ポートあたり)
    ・IO-Linkポートタイプ Class A

    　▶IO-Linkデバイス機器
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
バリエーション/適用バルブシリーズ　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　IO-Linkデバイス機器
シリーズポート数適合上位通信
EX600-GILB-X604ポートCC-Link IE Field

イオナイザ IZS31

静電気対策機器／イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器（除電機器）イオナイザ バータイプ
製品特長
    ・除電時間0.3秒。
    ・3種類のセンサを選択可能。
    ・フィードバックセンサによる高速除電。
    ・オートバランスセンサによるオフセット電圧制御。
    ・高精度タイプ：ワーク位置のオフセット電圧を正確に制御します。
    ・本体取付タイプ：アース戻り電流検知により、イオナイザ本体に取付けた状態で使用できます。
    ・用途に合せてカートリッジを選択可能。
    ・除電速度重視の高速除電タイプ。
    ・メンテナンスサイクルを向上するローメンテタイプ。
安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズイオン発生方式イオンバランス
IZS31コロナ放電式±30V（ステンレス電極計の場合±100V）

水用流量コントローラ FC2W-X110

スイッチ／センサ／コントローラ » コントローラ
製品特長
    ・流量を自動調整
    ・流量制御精度：±5% F.S.
    ・応答時間：10s以下
    ・ノングリース
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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  • 水用流量コントローラ FC2W-X110
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    FC2W-X110検索結果を表示
安全上のご注意　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量制御範囲(L/min)流量測定範囲(L/min)
FC2W-X1100.5～4.0
2.0～16.0		0.4～4.2
1.6～16.8

フロースイッチ／パドル式 IF3

スイッチ／センサ／コントローラ » 機械式フロースイッチ
    ・冷却設備等の汎用断水、減水リレーなどで使用。
    ・3/4B～6Bまでの配管に適用
    ・IP42相当、IP44相当に対応。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • フロースイッチ／パドル式 IF3
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    IF3検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
フロースイッチバリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ定格流量範囲（L/min）
IF314～60
20～1500
36～2600

3色表示デジタルフロースイッチ  PF2MC7□（-L）

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式フロースイッチ／センサ
IO-Link対応機器 » デジタルフロースイッチ
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器　IO-Link 対応機器
製品特長
    ・乾燥空気、N2
    ・3色表示3画面対応
    ・1台で幅広い流量の計測が可能
    　レンジアビリティ 100：1、最小設定単位 1L/min
    ・ノングリース
    ・IO-Link対応
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • 3色表示デジタルフロースイッチ  PF2MC7□（-L）
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    PF2MC検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
フロースイッチバリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ定格流量範囲 (L/min)
PF2MC5～500
10～1000
20～2000

2色表示式デジタルフロースイッチ PFMB

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式フロースイッチ／センサ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » フロースイッチ
製品特長
    ・乾燥空気、N2
    ・ノングリース仕様。
    ・流量調整弁一体化。
    ・小型、省スペース。

    ※PFMB7201シリーズは2021年9月に生産終了しました。
    　PF2M721シリーズをご選定願います。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 2色表示式デジタルフロースイッチ PFMB
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    PFMB検索結果を表示
  • 2色表示式デジタルフロースイッチ PFMB
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    PFMB検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
フロースイッチバリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ定格流量範囲 (L/min)
PFMB5～500
10～1000
20～2000

圧力スイッチ／マイクロスイッチ式 IS3000

スイッチ／センサ／コントローラ » 機械式圧力スイッチ
    ・10mA前後の微小負荷に対応。
    ・ランプ付。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 圧力スイッチ／マイクロスイッチ式 IS3000
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    IS3000正圧検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類設定圧力範囲
IS3000正圧0.1～0.7MPa

小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
製品特長
    ・PSEセンサセットアップツールPSE-ST Series追加 [New]
    ・スイッチ出力仕様
    ・IO-Link対応
    ・アナログ出力（電圧）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    PSE541真空圧検索結果を表示
    PSE543連成圧検索結果を表示
    PSE540正圧検索結果を表示
  • 小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    PSE541真空圧検索結果を表示
    PSE543連成圧検索結果を表示
    PSE540正圧検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類定格圧力範囲
PSE541真空圧0～－101kPa
PSE543連成圧－100～100kPa
PSE540正圧0～1MPa

3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
IO-Link対応機器 » 圧力スイッチ
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器　IO-Link 対応機器
製品特長
    ・20A Seriesに微差圧レンジを追加 [New]
    ・M12コネクタ タイプを追加
    ・微圧レンジを追加
    ・R1/8継手一体型 配線下取出し仕様
    ・設定項目の見える化
    ・簡単3ステップ設定
    ・簡単画面切替
    　測定値を見ながら設定可能
    ・ディレー時間：最速1.5ms以下
    ・IO-Link対応
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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    2D CAD
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  • 3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSE20 (F) ISE20連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20A (F) ISE20A連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド)連成圧検索結果を表示
    ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド)連成圧検索結果を表示
    ZSE20B (F)-(L) E20B-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
  • 3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSE20 (F) ISE20連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20A (F) ISE20A連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド)連成圧
    ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド)連成圧
    ZSE20B (F)-(L) E20B-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項　圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　グリーン対応（RoHS）
シリーズ出力形式種類定格圧力範囲保護構造適用流体
ZSE20 (F) ISE201出力連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPaIP40空気
ZSE20A (F) ISE20A2出力、アナログ出力（電圧／電流）連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPaIP40空気
ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド)2出力、アナログ出力（電圧／電流）連成圧−50.0〜50.0Pa、−100.0〜100.0Pa、−200〜200.0PaIP40空気
ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド)2出力、アナログ出力 （電圧／電流）連成圧−500〜500Pa、 −1.000〜1.000kPa、 −2.00〜2.00kPa、 −5.00〜5.00kPa、 −10.00〜10.00kPaIP40空気
ZSE20B (F)-(L) E20B-(L)2出力、アナログ出力（電圧／電流）、IO-Link対応、スイッチ1出力連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPaIP65空気
ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L)2出力、アナログ出力（電圧／電流）、IO-Link対応、 スイッチ1出力連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPa、−0.100～2.000MPaIP65汎用流体

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