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フィルタ付減圧弁 1301/IW

計装用補助機器 » 減圧弁
  • 2D/3D CAD

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    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • フィルタ付減圧弁 1301/IW
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    IW検索結果を表示
    1301
安全上のご注意　オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径設定圧力 (MPa)ろ過精度
IWRc1/40.02～0.2
0.02～0.3
0.02～0.5		5μm
1301Rc1/40.02～0.2
0.02～0.29
0.02～0.49		5μm

電－空ポジショナ／スマートポジショナ IP8□00/IP8□01

計装用補助機器 » ポジショナ
    ・保護構造：JISF8007 IP65（IEC 60529準拠）
    ・モニターリング機能
    ・防爆構造
    　　電-空ポジショナ：
    　　　TIIS耐圧防爆構造（ExdⅡBT5）
    　　　ATEX本質安全防爆構造（Ⅱ2G Ex h ibⅡCT5/T6 Gb）
    　　スマートポジショナ：
    　　　ATEX本質安全防爆構造（Ⅱ1G Ex h iaⅡCT4/T5/T6 Ga）
    ・HART通信機能（スマートポジショナ）
安全上のご注意　オートメーション例　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズタイプ管接続口径
(Rc, NPT, G)		供給空気圧力
(MPa)		入力電流
電-空ポジショナIP8000レバータイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
電-空ポジショナIP8100ロータリタイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
スマートポジショナIP8001レバータイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
スマートポジショナIP8101ロータリタイプ1/40.3～0.7DC4～20mA

焼結金属エレメント EB/ES

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 焼結金属エレメント
    ・機械的強度、耐圧が大きく、腐食に強い。
    ・機械加工、かしめ、ろう接、溶接および同時焼結が可能。
    ・洗浄により繰り返し使用が可能。
安全上のご注意　グリーン対応（RoHS）
シリーズ材質公称ろ過精度
EBブロンズ（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）は準標準。
ESステンレス（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）は準標準。

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGD

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・小流量のろ過（MAX.60L/min）
    ・帯電防止仕様（FGDE、FGDF）選択可能。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGD検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPaMAX.80

真空ロッドレスシリンダ CYV

高真空機器 » 真空ロッドレスシリンダ
    ・真空環境内（1.3×10-4Pa）での搬送に使用可能なエアシリンダ。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 真空ロッドレスシリンダ CYV
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    CYV検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図／各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力｛Pa（ABS）｝チューブ内径（mm）
CYV大気～1.3×10-415，32

300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

高真空機器 » スリットバルブ
製品特長
    ・長寿命：300万回（常温時）
    ・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
    ・メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ・安全対策
    　メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

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  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

大気開放弁付真空バルブ XLJ

高真空機器 » その他
製品特長
    ・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XLJ検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25，40

アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

ペルチェ式サーモコン／ラックマウントタイプ HECR

温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
製品特長
    ・高スペース効率：19インチラック搭載可能
    　複数の機器が搭載できるラックマウントで、省スペース化が可能
    ・温度安定性：±0.01℃～0.03℃
    ・設定温度範囲：10℃～60℃
    ・冷却能力：200W、400W、510W、800W、1kW、1.2kW
    ・消費電力：200W、300W、400W

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度範囲冷却能力温度安定性冷却方式
HECR002-A10～60℃200W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR004-A10～60℃400W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR006-A10～60℃510W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR006L-A10～60℃510W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR008-A10～60℃800W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR010-A10～60℃1kW±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR008-W10～60℃800W±0.01～0.03℃ペルチェ式水冷
HECR012-W10～60℃1.2kW±0.01～0.03℃ペルチェ式水冷

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