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ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

プロセスポンプ クリーンルーム仕様 PA(P)3000

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		接液部材質
PAP3310自動運転型1～13New PFA
（フッ素樹脂）
PAP3313エアオペレート型0.1～9New PFA
（フッ素樹脂）

フッ素樹脂製ニードルバルブ LVN

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブ
    ・材質：New PFA
    ・継手一体構造。
    　ハイパーフィッティング／LQ2シリーズを使用
    ・3重シール構造。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリ		適用チューブ外径
インチ		流量調整範囲（L/min）オリフィス径（mmφ）
LVN4～121/8''～1/2''0～124.4～10

薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
    ・小型・省スペースタイプをラインナップ。
    　配管方向寸法MAX.29％短縮。
    ・ボディ材質：New PFA
    ・ダイヤフラム材質：PTFE
    ・アクチュエータ部材質：PPS，PVDF（LVD-F/FN）

    注）チューブ出しはチューブ外径。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    LVD継手一体型検索結果を表示
    LVDチューブ出し検索結果を表示
    LVD-F/FNLQ1継手一体型検索結果を表示
    LVD-F/FNLQ3継手一体型検索結果を表示
    LVD-F/FNチューブ出し検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ
外径 注）
ミリ		適用チューブ
外径 注）
インチ		オリフィス径
（mmφ）
LVD継手一体型N.C.／N.O.／複動3～191/8～3/42～16
LVDチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～191/4～3/44～16
LVD-F/FNLQ1継手一体型N.C.／N.O.／複動3～251/8～14～22
LVD-F/FNLQ3継手一体型N.C.／N.O.／複動6～251/4～14～22
LVD-F/FNチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～251/4～14～22

薬液用エアオペレートバルブ JLV20/30/40/50

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
製品特長
    ・パーティクルの発生を抑制/フットプリント削減に貢献
    　特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑えます。
    　フットプリント削減(従来比)：バルブ幅20％削減、取付ピッチ45％削減。
    ・高圧/高背圧対応
    　使用圧力：0～0.5MPa　背圧：0～0.5MPa(従来比66%向上)
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ外径
インチ		オリフィス径
（mmφ）
JLVエアオペレートタイプ
継手一体型		N.C.1/4，3/8，1/2，3/44，8，10，16

高圧用クーラントバルブ VNH

流体制御用機器 » クーラント用バルブ
    ・工作機械等の高圧クーラント（切削液）制御用。
    ・最高使用圧力：3.5MPa、7MPa
    ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 高圧用クーラントバルブ VNH
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VNH検索結果を表示
  • 高圧用クーラントバルブ VNH
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VNH検索結果を表示
安全上のご注意　流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項
機器選定・流量特性　バリエーション/プロセス・クーラントバルブ一覧表
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径（mmø）
VNHN.C.3/8～13.9～15.7

高速2ポートバルブ SX10

流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ
製品特長
    ・高速応答：ON時 0.45ms、OFF時 0.4ms(±0.05ms)
    ・長寿命 50億回以上
    ・高頻度 1200Hz
    ・薄型 9mm
    ・低消費電力 4W
安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量消費電力 (W)最高作動頻度 (Hz)
SX105080
40
10
4		1200
1000
550
350
SX1010080
40
10
4		650
550
300
200
SX1015080
40
10
4		600
500
250
150

パイロット形2ポートソレノイドバルブ VXD

流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
製品特長
    ・空気・水・高温水・油・高温油用。
    ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、SUS、CAC408
    ・ワンタッチ管継手付（樹脂ボディ）を用意
    ・IP65
  • 2D/3D CAD

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  • パイロット形2ポートソレノイドバルブ VXD
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VXD検索結果を表示
安全上のご注意　流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項
機器選定・流量特性　バリエーション/選定手順/一覧表　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　極性・配線資料
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径（mmφ）
VXDN.C.／N.O.φ10，φ12，φ3/8''
1/4～1
32A～50A		10～50

サーモチラー／スタンダードタイプ HRS090

産業用通信機器／無線システム » その他　RS232C 対応機器
産業用通信機器／無線システム » その他　RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
製品特長
    ・軽量・コンパクト
    ・冷却能力：9kW
    ・温度安定性：±0.5℃
    ・設定温度範囲：5～35℃
    ・最高使用周囲温度：45℃
    ・電源：三相AC200～230V、AC380～415V、AC460～480V
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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  • サーモチラー／スタンダードタイプ HRS090
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS0909kW（60Hzの場合）検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
こんなところでも使われています　温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRS0905～35℃9kW（60Hzの場合）±0.5℃空冷冷凍式
水冷冷凍式		清水
脱イオン水（純水）
エチレングリコール水溶液（15％）

イオナイザ ファンタイプ IZF

静電気対策機器／イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器（除電機器）イオナイザ ファンタイプ
製品特長
    ・最薄 厚さ40mm
    ・最速 高速除電0.5秒
    ・オフセット電圧（イオンバランス）：±5V
    ・安定した除電性能／メンテナンス性向上
バリエーション／用途例　帯電防止機器　用語解説
安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ最大風量イオン発生方式オフセット電圧
（イオンバランス）
IZF100.46m3/min, 0.66m3/min, 0.80m3/minコロナ放電方式±13V
IZF211.8m3/minコロナ放電方式±5V
IZF314.4m3/minコロナ放電方式±5V

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