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300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

高真空機器 » スリットバルブ
製品特長
    ・長寿命：300万回（常温時）
    ・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
    ・メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ・安全対策
    　メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

大気開放弁付真空バルブ XLJ

高真空機器 » その他
製品特長
    ・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XLJ検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25，40

アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

ペルチェ式サーモコン／ラックマウントタイプ HECR

温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
製品特長
    ・高スペース効率：19インチラック搭載可能
    　複数の機器が搭載できるラックマウントで、省スペース化が可能
    ・温度安定性：±0.01℃～0.03℃
    ・設定温度範囲：10℃～60℃
    ・冷却能力：200W、400W、510W、800W、1kW、1.2kW
    ・消費電力：200W、300W、400W

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度範囲冷却能力温度安定性冷却方式
HECR002-A10～60℃200W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR004-A10～60℃400W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR006-A10～60℃510W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR006L-A10～60℃510W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR008-A10～60℃800W±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR010-A10～60℃1kW±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷
HECR008-W10～60℃800W±0.01～0.03℃ペルチェ式水冷
HECR012-W10～60℃1.2kW±0.01～0.03℃ペルチェ式水冷

プロセスポンプ／単動ポンプ PB

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » フッ素樹脂製プロセスポンプ
製品特長
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • プロセスポンプ／単動ポンプ PB
    取扱説明書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PB1011A電磁弁内蔵型検索結果を表示
    PB1013Aエアオペレート型検索結果を表示
    PB1313Aエアオペレート型検索結果を表示
  • プロセスポンプ／単動ポンプ PB
    自己宣言書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PB1011A電磁弁内蔵型検索結果を表示
    PB1013Aエアオペレート型
    PB1313Aエアオペレート型
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（mL/min）		ボディ接液部材質
PB1011A電磁弁内蔵型8～2000ポリプロピレン
SUS316
PB1013Aエアオペレート型8～1000ポリプロピレン
SUS316
PB1313Aエアオペレート型8～1000NewPFA
（フッ素樹脂）

プロセスポンプ／複動ポンプ PA/PAX

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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  • プロセスポンプ／複動ポンプ PA/PAX
    取扱説明書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PA3□□0自動運転型検索結果を表示
    PA3□13エアオペレート型検索結果を表示
    PAX1□12脈動減衰器内蔵
    自動運転型    		検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		接液部材質
PA3□□0自動運転型1～20ADC12（アルミニウム）
SCS14（ステンレス）
PA3□13エアオペレート型0.1～12ADC12（アルミニウム）
SCS14（ステンレス）
PAX1□12脈動減衰器内蔵
自動運転型		0.5～10ADC12（アルミニウム）
SCS14（ステンレス）

フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング／インサートブッシュタイプ LQ1

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 管継手／ニードルバルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 管継手＆ニードルバルブ／チューブ
    ・材質：New PFA
    ・4重シール構造
    ・レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • フッ素樹脂製管継手ハイパーフィッティング／インサートブッシュタイプ LQ1
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    LQ1検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　グリーン対応（RoHS）
シリーズ最高使用圧力使用温度（℃）
LQ11.0MPa0～200

塩化ビニル製エアオペレートバルブ LVP

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 塩化ビニル製バルブ
    ・塩ビ配管対応：ユニオン形、PVC自在ユニオン付。
    ・ボディ材質：CPVC、ダイヤフラム材質：PTFE
    ・Oリング材質：FKM、EPDM（選択可）
    ・適応流体：脱イオン水（純水）、薬液。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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  • 塩化ビニル製エアオペレートバルブ LVP
    取扱説明書
    シリーズ 適用チューブ外径 検索結果を表示
    LVP5□外径φ22
    （呼び径16A）    		検索結果を表示
    LVP6□外径φ26
    （呼び径20A）    		検索結果を表示
    LVP6□外径φ32
    （呼び径25A）    		検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径オリフィス径
（mmφ）		弁形式オプション
LVP5□外径φ22
（呼び径16A）		16N.C.／N.O.／複動流量調整付
LVP6□外径φ26
（呼び径20A）		22N.C.／N.O.／複動流量調整付
LVP6□外径φ32
（呼び径25A）		22N.C.／N.O.／複動流量調整付

薬液用エアオペレートバルブ／継手一体型 LVC

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
製品特長
    ・ボディ材質：New PFA
    ・同一形状のN.C.／N.O.／複動。
    ・流体温度100℃に対応。
    ・マニホールド型式：LLC2，LLC3，LLC4，LLC5
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 薬液用エアオペレートバルブ／継手一体型 LVC
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 適用チューブ外径 検索結果を表示
    LVCエアオペレートタイプ
    継手一体型    		ミリ：3～25
    インチ：1/8～1    		検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ外径オリフィス径
（mmφ）
LVCエアオペレートタイプ
継手一体型		N.C.／N.O.／複動ミリ：3～25
インチ：1/8～1		4～22

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