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フィルタレギュレータ オーダーメイド仕様 AW30～AW60-X430/X440

計装用補助機器 » 減圧弁
    ・特殊温度環境
    　寒冷地域および熱帯地域などの環境条件下で
    　耐えられるように、パッキンや樹脂部品などを
    　特殊材料に変えています。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　F.R.L/共通注意事項 オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ環境管接続口径設定圧力(MPa)ろ過精度
AW30～AW60-X430低温環境用
-30～60℃		1/4～10.05～0.85
0.02～0.2		5μm
AW30～AW60-X440高温環境用
-5～80℃		1/4～10.05～0.85
0.02～0.2		5μm

スマートポジショナ/外部信号入力仕様 IP8101-X419-□

計装用補助機器 » ポジショナ
製品特長
    ・駆動部の遠隔操作が可能
    　フィードバック信号によりシリンダ（駆動部）を制御
安全上のご注意　オートメーション例　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズタイプ管接続口径
(Rc, NPT, G)		供給空気圧力
(MPa)		入力電流
スマートポジショナIP8101-X419-□外部信号入力タイプ1/40.3～0.74～20mADC

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGE

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・中流量のろ過（MAX.230L/min）
    ・Vバンドタイプはエレメント交換が容易（カバー飛散防止機構付）
  • 2D/3D CAD

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  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGE
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGE検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGER1，20.7MPaMAX.80

スリットバルブ XGT

高真空機器 » スリットバルブ
    ・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
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  • スリットバルブ XGT
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGT検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGT大気圧～10-6不活性ガス系の真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

スムーズベントバルブ XVD

高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
    ・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
    ・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
    ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
  • 2D/3D CAD

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  • スムーズベントバルブ XVD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XVD検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XVD常時閉
（加圧開・スプリングシール）		窒素、空気、
不活性ガス等		VCR®
Swagelok®		1/4B

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152

高真空機器 » 高真空バルブ
製品特長
    ・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
    ・寿命：200万回
    ・装置の省スペース化が可能
    　排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
    　取付姿勢の自由度アップ
    ・軽量・コンパクト
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-100・160-X152エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160
XLC-100・160-1-X152エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160

ペルチェ式サーモコン HEC

温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
    ・高精度温調が必要な用途に。
    ・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
    ・シンプルな構造で高信頼性。
    ・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
    ・ワイドな電源電圧に対応可。
    ・UL規格適合、CEマーキング。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • ペルチェ式サーモコン HEC
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HEC230W
    600W    		検索結果を表示
    HEC140W
    320W    		検索結果を表示
    HEC600W
    1200W    		検索結果を表示
  • ペルチェ式サーモコン HEC
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HEC230W
    600W    		検索結果を表示
    HEC140W
    320W    		検索結果を表示
    HEC600W
    1200W    		検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HEC10～60℃230W
600W		±0.01～0.03℃ペルチェ式空冷清水
HEC10～60℃140W
320W		±0.01～0.03℃ペルチェ式水冷清水
エチレングリコール水溶液（20％）
HEC10～60℃600W
1200W		±0.01～0.03℃ペルチェ式水冷清水
フッ素化液

レーザ用小型デュアル／ベーシックタイプ HRLE

温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）レーザ用デュアルタイプ
製品特長
    ・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
    ・省スペース/省配線
    　設置面積21%削減
    　電源系統：1系統でOK
    ・省エネルギー
    　省エネ 消費電力17%削減
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • レーザ用小型デュアル／ベーシックタイプ HRLE
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    HRLE050-A検索結果を表示
    HRLE050-W検索結果を表示
    HRLE090-A検索結果を表示
    HRLE090-W検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力（CH1, 2合計）温度
安定性		冷却方式循環液
HRLE050-ACH1:15～25℃
CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃		4.8kW/5.8k
（50Hz/60Hz）		CH1:±0.1
CH2:±0.5		空冷冷凍式清水、脱イオン水（純水）
HRLE050-WCH1:15～25℃
CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃		4.8kW/5.8k
（50Hz/60Hz）		CH1:±0.1
CH2:±0.5		水冷冷凍式清水、脱イオン水（純水）
HRLE090-ACH1:15～25℃
CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃		8.0kW/9.5kW
（50Hz/60Hz）		CH1:±0.1
CH2:±0.5		空冷冷凍式清水、脱イオン水（純水）
HRLE090-WCH1:9kw,19kW,26kW
CH2:1.0kW（最大1.5kW）		9.5kW/11.0kW
（50Hz/60Hz）		CH1:±0.1
CH2:±0.5		水冷冷凍式清水、脱イオン水（純水）

ノンメタルポンプ／複動ポンプ PAF

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » フッ素樹脂製プロセスポンプ
    ※PAF3410-X68は締結ボルト、エア切換弁：ステンレス仕様です。
    　フッ酸等オールノンメタルポンプが必要な場合はPAF標準品をご使用ください。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • ノンメタルポンプ／複動ポンプ PAF
    取扱説明書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PAF3410自動運転型検索結果を表示
    PAF3413エアオペレート型検索結果を表示
    PAF3410-X68自動運転型検索結果を表示
    PAF5410自動運転型検索結果を表示
    PAF5413エアオペレート型検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		接液部材質
PAF3410自動運転型1～20New PFA
（フッ素樹脂）
PAF3413エアオペレート型1～15New PFA
（フッ素樹脂）
PAF3410-X68自動運転型1～20New PFA
（フッ素樹脂）
PAF5410自動運転型5～45New PFA
（フッ素樹脂）
PAF5413エアオペレート型5～38New PFA
（フッ素樹脂）

プロセスポンプ PA5000

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
製品特長
    ・小型／省エネ／吐出量アップのボディ材質
    　ポリプロピレン（PP）を追加
    ・小型：高さ185mm× 幅134mm× 奥行202mm
    ・軽量：3.0kg(ポリプロピレン)
    ・接液ボディ材質
    　PP（ポリプロピレン）/アルミニウム/ステンレスから選択可能
    ・自動運転型／エアオペレート型を用意
    ・自給式で呼び水不要
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • プロセスポンプ PA5000
    取扱説明書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PA50□□自動運転
    エアオペレート    		検索結果を表示
    PA51□□自動運転
    エアオペレート    		検索結果を表示
    PA52□□自動運転
    エアオペレート    		検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		ボディ接液部材質
PA50□□自動運転
エアオペレート		63ポリプロピレン（PP）
PA51□□自動運転
エアオペレート		60アルミニウム（ADC12）
PA52□□自動運転
エアオペレート		60ステンレス（SCS14）

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