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5ポートソレノイドバルブ 10-SV
クリーン／低発塵 » 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX500シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SV1000 | 1.1dm3(s・bar) | φ40 | 0.6 |
| 10-SV2000 | 2.8dm3(s・bar) | φ63 | 0.6 |
| 10-SV3000 | 4.5dm3(s・bar) | φ80 | 0.6 |
| 10-SV4000 | 10dm3(s・bar) | φ100 | 0.6 |
ケース付サクションフィルタ FH99
油圧機器 » 油圧用機器
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・小形・軽量 カバー・ケース材質：アルミ鋳物。
・ポンプのキャビテーションを防止。
・エレメントの保守が簡単。
・差圧表示器、差圧表示スイッチ（CB-□□H）により目詰まり状態の検知が可能。
| シリーズ | 接続口径 | 定格流量 L/min | 使用圧力 | エレメントμm （公称ろ過粒度） |
|---|---|---|---|---|
| FH99 | INLET：1B～4B | 20～900 | 負圧 | マイクロメッシュ： 74，105，149 |
JIS規格準拠薄形油圧シリンダ CHK□/CHDK□
油圧機器 » 油圧シリンダ
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・アルミボディで軽量、コンパクト。
・オートスイッチの取付可能。
・オートスイッチ付となしの長手方向の寸法は同一。
・JIS規格準拠（CHKDシリーズ）
・オートスイッチ付（CHDK□シリーズ：CHDKD、CHDKG）
| シリーズ | 呼び圧力（MPa） | ボディ材質 | 作動方式 | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|---|
| CHKD | 10 | アルミ | 複動片ロッド | 20，25，32，40，50 63，80，100 |
| CHKG | 16 | アルミ | 複動片ロッド | 20，25，32，40，50 63，80，100 |
スマートポジショナ/外部信号入力仕様 IP8101-X419-□
計装用補助機器 » ポジショナ
| 種類 | シリーズ | タイプ | 管接続口径 (Rc, NPT, G) | 供給空気圧力 (MPa) | 入力電流 |
|---|---|---|---|---|---|
| スマートポジショナ | IP8101-X419-□ | 外部信号入力タイプ | 1/4 | 0.3～0.7 | 4～20mADC |
スリットバルブ XGT
高真空機器 » スリットバルブ
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
| シリーズ | 使用環境圧力 Pa（abs） | 使用流体 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
| シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常時閉 （加圧開・スプリングシール） | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152
高真空機器 » 高真空バルブ
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・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
・寿命：200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100，160 |
| XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100，160 |
ペルチェ式サーモコン HEC
温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
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・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HEC | 10～60℃ | 230W 600W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式空冷 | 清水 |
| HEC | 10～60℃ | 140W 320W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 エチレングリコール水溶液（20％） |
| HEC | 10～60℃ | 600W 1200W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 フッ素化液 |
レーザ用小型デュアル／ベーシックタイプ HRLE
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）レーザ用デュアルタイプ
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・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
・省スペース/省配線
設置面積21%削減
電源系統：1系統でOK
・省エネルギー
省エネ 消費電力17%削減
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力（CH1, 2合計） | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRLE050-A | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE050-W | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE090-A | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 8.0kW/9.5kW （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE090-W | CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW（最大1.5kW） | 9.5kW/11.0kW （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
