温控器
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温控器/高性能变频型 HRZ
温控器 » 温控器（循环液温控装置）产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件
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・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
※提供样机试用服务
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营业所一览
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
