温控器
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水冷式温控器/高性能型 HRW
温控器 » 温控器(循环液温控装置)产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
温控器 » 温控器(循环液温控装置)High performance/Type & Inverter Type zh-cn
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・与工厂内循环水直接热交换
・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
在半导体过程控制装置上成果较多
・符合UL、SEMI标准、CE认证
・可选择变频型
※提供样机试用服务
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营业所一览
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (无压缩机) | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |