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電－空変換器 IT600/601

計装用補助機器 » 電ー空変換器
    ・電流信号に比例した空気圧力を出力可能
    ・広い出力圧力範囲／0.02〜0.6MPa
    ・すぐれた応答性
    ・独立した電気機器部／耐圧防爆構造
    ・スムーズなスパン調整
安全上のご注意　オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径供給圧力 (MPa)入力電流
IT600Rc1/40.14～0.244～20mADC
IT601Rc1/40.24～0.74～20mADC

ブースタリレー IL100/XT240

計装用補助機器 » リレー／バルブ
製品特長
    ・計器から操作部までの配管距離が非常に長い場合や操作部の容量が大きい場合に使用。
    ・操作部の駆動速度を大幅に向上。
  • ブースタリレー IL100/XT240
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    IL100検索結果を表示
    XT240
安全上のご注意　オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径入力・出力入出力圧
IL100Rc1/4， 3/81：10.7MPa
XT240Rc. NPT 1/4 (SIG)，1 (SUP. OUT)1：10.7MPa

フィルタ付減圧弁 1301/IW

計装用補助機器 » 減圧弁
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • フィルタ付減圧弁 1301/IW
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    IW検索結果を表示
    1301
安全上のご注意　オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径設定圧力 (MPa)ろ過精度
IWRc1/40.02～0.2
0.02～0.3
0.02～0.5		5μm
1301Rc1/40.02～0.2
0.02～0.29
0.02～0.49		5μm

電－空ポジショナ／スマートポジショナ IP8□00/IP8□01

計装用補助機器 » ポジショナ
    ・保護構造：JISF8007 IP65（IEC 60529準拠）
    ・モニターリング機能
    ・防爆構造
    　　電-空ポジショナ：
    　　　TIIS耐圧防爆構造（ExdⅡBT5）
    　　　ATEX本質安全防爆構造（Ⅱ2G Ex h ibⅡCT5/T6 Gb）
    　　スマートポジショナ：
    　　　ATEX本質安全防爆構造（Ⅱ1G Ex h iaⅡCT4/T5/T6 Ga）
    ・HART通信機能（スマートポジショナ）
安全上のご注意　オートメーション例　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズタイプ管接続口径
(Rc, NPT, G)		供給空気圧力
(MPa)		入力電流
電-空ポジショナIP8000レバータイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
電-空ポジショナIP8100ロータリタイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
スマートポジショナIP8001レバータイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
スマートポジショナIP8101ロータリタイプ1/40.3～0.7DC4～20mA

焼結金属エレメント EB/ES

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 焼結金属エレメント
    ・機械的強度、耐圧が大きく、腐食に強い。
    ・機械加工、かしめ、ろう接、溶接および同時焼結が可能。
    ・洗浄により繰り返し使用が可能。
安全上のご注意　グリーン対応（RoHS）
シリーズ材質公称ろ過精度
EBブロンズ（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）は準標準。
ESステンレス（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）は準標準。

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGD

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・小流量のろ過（MAX.60L/min）
    ・帯電防止仕様（FGDE、FGDF）選択可能。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGD検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPaMAX.80

真空ロッドレスシリンダ CYV

高真空機器 » 真空ロッドレスシリンダ
    ・真空環境内（1.3×10-4Pa）での搬送に使用可能なエアシリンダ。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 真空ロッドレスシリンダ CYV
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    CYV検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図／各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力｛Pa（ABS）｝チューブ内径（mm）
CYV大気～1.3×10-415，32

300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

高真空機器 » スリットバルブ
製品特長
    ・長寿命：300万回（常温時）
    ・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
    ・メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ・安全対策
    　メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

大気開放弁付真空バルブ XLJ

高真空機器 » その他
製品特長
    ・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XLJ検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25，40

アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

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