理化学業界向機器

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理化学 / 医療業界向機器高真空機器

アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ

製品特長

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型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。
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※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G

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XLAV-2（電磁弁付）	検索結果を表示
XLC-2	検索結果を表示
XLF-2	検索結果を表示
XLFV-2（電磁弁付）	検索結果を表示
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安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	弁形式	軸シール方式	用途	フランジサイズ
XLA-2	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLAV-2（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLC-2	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLF-2	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80
XLFV-2（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80
XLG-2	エアオペレート	複動	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80

アルミ製高真空L型バルブ XL□

高真空機器 » 高真空バルブ

製品特長

※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
　モデルチェンジしました。

　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。

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アルミ製高真空L型バルブ XL□

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XLAV（電磁弁付）	検索結果を表示
XLC	検索結果を表示
XLCV（電磁弁付）	検索結果を表示
XLF	検索結果を表示
XLFV（電磁弁付）	検索結果を表示
XLG	検索結果を表示
XLGV（電磁弁付）	検索結果を表示
XLD	検索結果を表示
XLDV（電磁弁付）	検索結果を表示
XLH	検索結果を表示
XLS	検索結果を表示

アルミ製高真空L型バルブ XL□

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XLC
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XLDV（電磁弁付）
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XLS	検索結果を表示

安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	弁形式	軸シール方式	用途	フランジサイズ
XLA	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～160
XLAV（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～160
XLC	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～160
XLCV（電磁弁付）	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLF	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～160
XLFV（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～160
XLG	エアオペレート	複動	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～160
XLGV（電磁弁付）	エアオペレート	複動	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80
XLD	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール Oリングシール	ダスト巻き上げ防止ポンプの過負荷防止	25～160
XLDV（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール Oリングシール	ダスト巻き上げ防止ポンプの過負荷防止	25～160
XLH	手動	手動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～50
XLS	電磁式	単動（N.C.）	(ベローズバランス)	エア不要可搬装置用	16，25

アルミ製ワンタッチ着脱高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

高真空機器 » 高真空バルブ

・ワンタッチ着脱（工具レス）

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安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	軸シール方式	弁形式	材質	フランジサイズ
XLAQ	エアオペレート	ベローズシール	単動（N.C.）	ボディ：アルミベローズ：SUS316L	16～50
XLDQ	エアオペレート	ベローズシール Oリングシール	単動（N.C.）	ボディ：アルミベローズ：SUS316L	40，50

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

高真空機器 » 高真空バルブ

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ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

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XMA/XYA 検索結果を表示
XMC/XYC 検索結果を表示
XMD/XYD 検索結果を表示
XMH/XYH 検索結果を表示

安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	軸シール方式	弁形式	材質	フランジサイズ
XMA/XYA	エアオペレート	ベローズシール	単動（N.C.）	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	16～80 注）
XMC/XYC	エアオペレート	ベローズシール	複動	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	16～80 注）
XMD/XYD	エアオペレート	ベローズシール Oリングシール	単動（N.C.）	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動	ベローズシール	手動	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	16～50 注）

スムーズベントバルブ XVD

高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース窒素（N₂）対応機器 » 高真空バルブ

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スムーズベントバルブ XVD

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シリーズ	弁形式	使用流体	配管接続方式	配管サイズ
XVD	常時閉（加圧開・スプリングシール）	窒素、空気、不活性ガス等	VCR^® Swagelok^®	1/4B

スリットバルブ XGT

高真空機器 » スリットバルブ

・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。

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スリットバルブ XGT

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シリーズ	使用環境圧力 Pa（abs）	使用流体	開口窓寸法（高さ×幅）mm	作動圧力 MPa（G）
XGT	大気圧～10^-6	不活性ガス系の真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6