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2･3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AZ

    ・精密洗浄およびクリーンルーム組立
    ・全品ヘリウムリーク検査済
    ・SEMI規格準拠
    ・作業者に優しい鍛造ボディ
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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  • ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AZ
    取扱説明書
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    AZエアオペレートタイプ検索結果を表示
    AZマニュアルタイプ検索結果を表示
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
AZエアオペレートタイプSUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''
3/8''
1/2
AZマニュアルタイプSUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''
3/8''
1/2

製品特長

■エアオペレートタイプ、マニュアルタイプを用意
■精密洗浄およびクリーンルーム組立、全品ヘリウムリーク検査済

エアオペレートタイプ AZ3542,4542 Series

アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現
操作ポートM5ねじ

マニュアルタイプ AZ3652,4652 Series

アハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現

ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ。指にフィットしやすい丸ハンドルに“ツマミ”を設けたデザイン。
ツマミ、丸ハンドルどちらからも開閉操作が可能。

■ボディ材質SUS316Lを使用

内部には電解研磨および不動態化処理を実施。

■作業者に優しい鍛造ボディ

角部は丸味を帯びた形状のため、安全性、作業性に優れています。

■SEMI規格準拠

取付ねじ、取付寸法、面間寸法の互換があります。

（SEMI F36ガス分配部品の寸法と接続に関するガイド）

■ポート仕様
■配管サイズバリエーション
■バリエーション
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