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プロセスガス用機器
減圧弁(圧力調整器)/背圧弁 一般ガス用 AK/BP
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・半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
・流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能。
シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AK | 一段式 | ライン用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 負圧調整 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
BP | 背圧弁 | ― | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
製品特長
■減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。
■ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。