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仕様: XLG-2 Series アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール
●アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量·コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
●ベローズ交換が可能
均一なベーキング温度
軽量·コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
●ベローズ交換が可能
フィールドの情報 | フィールドの値 | 値の情報 |
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フランジサイズ | 25 | 25 |
フランジの種類 | - | KF(NW) |
パイロットポート方向 | - | フランジ側 |
温度仕様/ヒータの有無 | - | 5~60℃、ヒータなし |
オートスイッチの種類 | M9BL | 無接点オートスイッチ, グロメット, ランプ付, 2線式, 横取出, リード線3m, 適用電圧:DC24V(DC10~28V) |
オートスイッチ数/取付位置 | A | 数量:2ケ付;検出位置:弁開閉 |
ボディ表面処理 | - | 外部:硬質アルマイト、内部:素地 |
シール材質 | - | シール材質:FKM;配合NO.:1349-80 |
シ-ル材質変更箇所とリーク量 | - | 変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3X10^-10(FKM)Pa·m3/s以下、外部:1.3X10^-10(FKM)Pa·m3/s以下 |