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その他　RS485 対応機器

サーモチラー／高機能インバータタイプ HRZ

    ・HRZシリーズの高機能に加え、DCインバータコンプレッサ採用で、省エネルギーを達成。
    ・広い温度範囲、冷却能力範囲を1台でカバー。
    ・イノベーションサイクルの短い半導体装置などに対応し、プロセス条件の変化に柔軟に対応可能。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧

    ※HRZシリーズは2022年12月に生産終了予定です。
    　HRZ-Fシリーズをご選定願います。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • サーモチラー／高機能インバータタイプ HRZ
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ10kW検索結果を表示
  • サーモチラー／高機能インバータタイプ HRZ
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ10kW検索結果を表示
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温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRZ－20～90℃
10～60℃		10kW±0.1℃水冷冷凍式フッ素化液
エチレングリコール水溶液（60％）
清水・脱イオン水（純水）
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