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パイロット形2ポートソレノイドバルブ VXD／禁油（オプション）
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 流体制御用2・3ポート ソレノイドバルブ
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・空気・水・高温水・油・高温油用
・ボディ材質：Al、樹脂、C37、SUS、CAC408
・ワンタッチ管継手付（樹脂ボディ）を用意
・IP65
・禁油（オプション）
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VXD | N.C.／N.O. | φ10, φ12, φ3/8" 1/4～1 32A～50A | 10～50 |
5ポートソレノイドバルブ 10-SV
クリーン／低発塵 » 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX500シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SV1000 | 1.1dm3(s・bar) | φ40 | 0.6 |
| 10-SV2000 | 2.8dm3(s・bar) | φ63 | 0.6 |
| 10-SV3000 | 4.5dm3(s・bar) | φ80 | 0.6 |
| 10-SV4000 | 10dm3(s・bar) | φ100 | 0.6 |
NAMUR規格準拠 5ポートソレノイドバルブ VFN2000N
計装用補助機器 » ソレノイドバルブ
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|
| VFN2000N | 4.57 | 0.17 | 1.06 | 1.8 |
ロックアップバルブ IL201/211/220
計装用補助機器 » リレー／バルブ
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・空気式プロセス制御系において空気源や供給空気配管系の異常発生時に使用。
単動形、複動形：空気源が正常状態に回復するまで、操作部の位置を応急保持
三方形： 異常発生時に供給ポートを切り換え
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力 (MPa) | 遮断空気回路圧力 |
|---|---|---|---|
| IL201・211・220 | Rc1/4 | 0.14～0.7 | MAX，0.7MPa |
スリットバルブ XGT
高真空機器 » スリットバルブ
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
| シリーズ | 使用環境圧力 Pa（abs） | 使用流体 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
| シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常時閉 （加圧開・スプリングシール） | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152
高真空機器 » 高真空バルブ
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・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
・寿命：200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100，160 |
| XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100，160 |
塩化ビニル製急速排水バルブ LVW
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 塩化ビニル製バルブ
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・JIS規格 塩化ビニル製配管対応（JIS K 6742）
・適応流体：脱イオン水（純水）、薬液
・接液部材質：PVC（ボディ）
PTFE（ポペット）
FKM（Oリング：標準）
EPDM（Oリング：オプション）
・流量特性：Cv値 10～198
・ユニオン接続により配管が容易。
| シリーズ | 適用チューブ外径 | オリフィス径 | 弁形式 |
|---|---|---|---|
| LVW60 | φ32（呼び径25A） | φ25 | 複動 |
| LVW80 | φ38（呼び径32A） | φ40 | 複動 |
| LVW80 | φ48（呼び径40A） | φ40 | 複動 |
| LVW90 | φ60（呼び径50A） | φ65 | 複動 |
| LVW90 | φ75（呼び径65A） | φ65 | 複動 |
| LVW90 | φ89（呼び径80A） | φ80 | 複動 |
薬液用エアオペレートバルブ／ねじ込み型 LVA
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブフッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
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・ボディ材質：New PFA／SUS／PPS
・ダイヤフラム材質：PTFE，EPR，NBR選択可能。
・有機溶剤対応
ボディ：SUS、アクチュエータ部：ADC、バッファ：FKM/EPDM選択
・マニホールド型式：LLA2，LLA3，LLA4，LLA5
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 管接続口径 適用チューブ外径 | オリフィス径 （mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| LVA | エアオペレートタイプ ねじ込み型 | N.C.／N.O.／複動 | 1/8～1 | 2～22 |
| LVA | エアオペレートタイプ 有機溶剤対応 | N.C.／N.O.／複動 | ミリ：6～19 インチ：1/4～1 | 4～22 |
