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300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

高真空機器 » スリットバルブ
    ・長寿命:300万回(常温時)
    ・発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
    ・メンテナンス性向上
     容易なベローズ交換
     トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
    ・安全対策
     メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
シリーズ使用環境圧力 Pa(abs)使用流体開口窓寸法
(高さ×幅)mm
作動圧力
MPa(G)
XGTP大気圧~10-6不活性ガス50×3360.45~0.6

大気開放弁付真空バルブ XLJ

高真空機器 » その他
    ・チャンバ内への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XLJ検索結果を表示
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25,40

アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
    ・アルミボディ採用
     均一なベーキング温度
     軽量・コンパクト
     アウトガスが少ない
     重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLAV-2(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLC-2エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLF-2エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80
XLFV-2(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80
XLG-2エア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80

プロセスポンプ/単動ポンプ PB

プロセスポンプ(ダイヤフラム式ポンプ) » プロセスポンプ(ダイヤフラム式ポンプ)
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » フッ素樹脂製プロセスポンプ
  • 2D/3D CAD

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  • プロセスポンプ/単動ポンプ PB
    取扱説明書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PB1011A電磁弁内蔵型検索結果を表示
    PB1013Aエアオペレート型検索結果を表示
    PB1313Aエアオペレート型検索結果を表示
  • プロセスポンプ/単動ポンプ PB
    自己宣言書
    シリーズ 駆動方式 検索結果を表示
    PB1011A電磁弁内蔵型検索結果を表示
    PB1013Aエアオペレート型
    PB1313Aエアオペレート型
シリーズ駆動方式吐出量
(mL/min)
ボディ接液部材質
PB1011A電磁弁内蔵型8~2000ポリプロピレン
SUS316
PB1013Aエアオペレート型8~1000ポリプロピレン
SUS316
PB1313Aエアオペレート型8~1000NewPFA
(フッ素樹脂)

塩化ビニル製エアオペレートバルブ LVP

薬液用バルブ/管継手&ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 塩化ビニル製バルブ
    ・塩ビ配管対応:ユニオン形、PVC自在ユニオン付。
    ・ボディ材質:CPVC、ダイヤフラム材質:PTFE
    ・Oリング材質:FKM、EPDM(選択可)
    ・適応流体:脱イオン水(純水)、薬液。
  • 2D/3D CAD

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  • 塩化ビニル製エアオペレートバルブ LVP
    取扱説明書
    シリーズ 適用チューブ外径 検索結果を表示
    LVP5□外径φ22
    (呼び径16A)
    検索結果を表示
    LVP6□外径φ26
    (呼び径20A)
    検索結果を表示
    LVP6□外径φ32
    (呼び径25A)
    検索結果を表示
シリーズ適用チューブ外径オリフィス径
(mmφ)
弁形式オプション
LVP5□外径φ22
(呼び径16A)
16N.C./N.O./複動流量調整付
LVP6□外径φ26
(呼び径20A)
22N.C./N.O./複動流量調整付
LVP6□外径φ32
(呼び径25A)
22N.C./N.O./複動流量調整付

薬液用エアオペレートバルブ/継手一体型 LVC

薬液用バルブ/管継手&ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 薬液用バルブ
    ・ボディ材質:New PFA
    ・同一形状のN.C./N.O./複動。
    ・流体温度100℃に対応。
    ・マニホールド型式:LLC2,LLC3,LLC4,LLC5
  • 2D/3D CAD

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  • 薬液用エアオペレートバルブ/継手一体型 LVC
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 適用チューブ外径 検索結果を表示
    LVCエアオペレートタイプ
    継手一体型
    ミリ:3~25
    インチ:1/8~1
    検索結果を表示
シリーズタイプ弁形式適用チューブ外径オリフィス径
(mmφ)
LVCエアオペレートタイプ
継手一体型
N.C./N.O./複動ミリ:3~25
インチ:1/8~1
4~22

水性・溶剤系流体用バルブ(2・3ポートエアオペレートバルブ) VCC

流体制御用機器 » 水性・溶剤系流体用バルブ
    ・2液塗料に対応(VCC12D)
     PTFEダイヤフラム構造=摺動部を排除
     塗料の固着低減
    ・ロボットアーム搭載可能(省スペース、軽量)
     2バルブ/1連 搭載(30mmピッチ)
     2・3ポート混載
     樹脂マニホールドブロック
  • 2D/3D CAD

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  • 水性・溶剤系流体用バルブ(2・3ポートエアオペレートバルブ) VCC
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VCC検索結果を表示
シリーズオリフィス径使用流体
VCCφ3.8水性・溶剤塗料、インク
洗浄剤(水、酢酸ブチル)、エア

クーラントバルブ SGC

流体制御用機器 » クーラント用バルブ
    ・工作機械等のクーラント(切削液)制御用大流量タイプ。
    ・低消費電力:0.35W(DC24Vの場合)
    ・最高使用圧力:0.5MPa、1MPa、1.6MPa
    ・寿命500万回以上(当社ライフ条件による)
    ・CE標準対応。
    ・Gねじ(ISO1179-1)標準対応。
    ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。
  • 2D/3D CAD

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  • クーラントバルブ SGC
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    SGC検索結果を表示
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径(mmφ)
SGCN.C./N.O.3/8~29~51

圧縮空気、エアハイドロ回路制御用2ポートバルブ/プロセスバルブ VNA

流体制御用機器 » 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
    ・空気圧システムやエアハイドロ回路の制御用。
    ・正逆流可能なバランスポペットタイプ。
    ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。
  • 2D/3D CAD

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  • 圧縮空気、エアハイドロ回路制御用2ポートバルブ/プロセスバルブ VNA
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VNA検索結果を表示
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径(mmφ)
VNAN.C./N.O./C.O.1/8~210~50

5.0MPa(高圧)パイロット形2・3ポートソレノイドバルブ&チェックバルブ VCH/VCHC

流体制御用機器 » 5.0MPa対応2・3ポートソレノイドバルブ
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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  • 5.0MPa(高圧)パイロット形2・3ポートソレノイドバルブ&チェックバルブ VCH/VCHC
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VCH41検索結果を表示
    VCH42検索結果を表示
    VCH410検索結果を表示
    VCHC40検索結果を表示
  • 5.0MPa(高圧)パイロット形2・3ポートソレノイドバルブ&チェックバルブ VCH/VCHC
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VCH41検索結果を表示
    VCH42検索結果を表示
    VCH410検索結果を表示
    VCHC40
シリーズ機種管接続口径オリフィス径(mmφ)
VCH412ポート弁 N.C.G3/4,1φ16
VCH422ポート弁 N.O.G3/4,1φ17.5
VCH4103ポート弁G1/2~1φ18
VCHC40チェック弁G3/4,1φ16

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