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3ポートソレノイドバルブ V100
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・消費電力：0.1W（節電回路付）
・コイル温度上昇値：1℃（標準タイプ／節電回路付）
・マニホールド型式：VV100-S41
| シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3 C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 b | 流量特性 2→3 Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| V100 | 標準 | 0.037 | 0.11 | 0.008 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） | －100kPa |
| V100 | 大流量 | 0.076 | 0.07 | 0.016 | 1 | －100kPa |
| V100 | 大流量：Uタイプ | 0.16 | 0.18 | 0.038 | 0.35（節電回路付） | －100kPa |
3ポートソレノイドバルブ VZ100/300/500
方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・真空使用可能 (VZ100 、VZ300R、VZ500R)
・パイロット弁の排気対策が不要 (集合排気形：VZ300M 、500M)
・セレクタ弁、デバイダ弁としても使用可能 (外部パイロット形：VZ300R、500R)
・マニホールド型式：VV3Z1，VV4Z1，VV3Z3，VV3Z5
※VZ300/500シリーズは2023年4月に生産終了しました。
SYJ500/700シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 流量特性 2→3(A→P) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3(A→P) b | 流量特性 2→3(A→P) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VZ100 | 0.19 | 0.071 | 0.042 | 1.8 | -100kPa |
| VZ300 | 1.2 | 0.48 | 0.34 | 1.8 | -100kPa |
| VZ500 | 2.7 | 0.34 | 0.69 | 1.8 | -100kPa |
絞り弁付真空破壊バルブ SY3A□R SY5A□R
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ真空用機器 » 真空破壊弁ユニット
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・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
・同一マニホールドバルブに標準バルブと混載可能。
※単独EXH.スペーサ使用時
| シリーズ |
|---|
| SY3A□R |
| SY5A□R |
小型直動2ポートソレノイドバルブ VDW／禁油（オプション）
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 流体制御用2・3ポート ソレノイドバルブ
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・空気・中真空・水用
・ボディ材質：Al、樹脂（PPS）、黄銅、SUS
・ワンタッチ管継手付（樹脂ボディ）を用意
・IP65
・禁油（オプション）
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2, φ4, φ6, M5, 1/8 | φ1～φ3.2 |
5ポートソレノイドバルブ 10-SZ
クリーン／低発塵 » 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SZ3000 | 0.77dm3(s・bar) | φ32 | 0.6 |
アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ
高真空機器 » 高真空バルブ
| シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | エア オペレート | ベローズシール | 単動 （N.C.） | ボディ：アルミ ベローズ：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 （N.C.） | ボディ：アルミ ベローズ：SUS316L | 40，50 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
| シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
