圧縮空気清浄化フィルタ
インラインエアフィルタ ZFC5□/7□-X05
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・使用圧力範囲:-100kPa~1.0MPa
1台で正圧・真空圧の使用が可能
・回り止め機構採用
正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止
・パッキン(FKM+禁油処理):-X05(オーダーメイド)
注)供給圧力0.1MPa、差圧30kPa
シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | 流量 L/min(ANR)注) 正圧 | 流量 L/min(ANR)注) 真空圧 | ろ過度(μm) |
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ZFC5□-X05 | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
ZFC7□-X05 | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
クリーンガスフィルタ SF
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・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100・200・300,SFB100)
・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300,SFC100)
タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
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カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100・200・300 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 120μm |
ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
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・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時)
・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
・金属ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) (一次圧0.7MPa時) | 使用圧力 | ろ過度 |
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SFD100 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | ~100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD110 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | ~120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD200 | カートリッジ型 (エレメント交換可) | ~500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
クリーンエアモジュール LLB
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・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部:ノングリース、シリコーンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当
シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min(ANR) |
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LLB3 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |
クリーンエアモジュール LLB1-X100
シリーズ | 使用流体 | 流量範囲 L/min(ANR) |
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LLB1-525 | クリーンエア N2ガス | 0.5〜25 |
LLB1-550 | クリーンエア N2ガス | 1〜50 |
LLB1-511 | クリーンエア N2ガス | 2〜100 |