|低露点クリーンエア（クリーンルーム用エア）
■用途例
・クリーンルーム内での半導体部品のブロー
■清浄化システム
シリーズ名をクリックすると詳細ページが表示されます。
AT,HAA/HAW：エアコンプレッサに取付いている場合は不要。
AT：スクリューコンプレッサの場合、蓄圧を目的とする場合は必要。
■圧縮空気中の不純物 
| 水分 | ろ過度 | オイルミスト 濃度注1) |
オイル 臭気 |
システムとしての 品質等級注2) |
|
|---|---|---|---|---|---|
| 露点 | 含有水分量 | ||||
| 大気圧露点：-30～-60℃ 圧力露点：-6～-42℃（0.7MPa時） |
0.5g～0.02g/㎥(ANR) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
Max.0.004mg/㎥ (ANR) 0.0032ppm |
無 | 1,1,1注3) 1,2,1 1,3,1 |
注1）入口側のオイルミスト濃度(コンプレッサ吐出濃度)が約30mg/m3(ANR)以下の場合。
注2）ISO8573-1:2010（JIS B8392-1:2012）による圧縮空気品質等級を示し（上記参照）、そのシステムで得られる最高品質等級を表記しています。ただし、入口空気条件により異なります。
注3）特注対応可能（使用条件による）ですのでお問合せください。
