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製程氣體用元件

膜片閥 一般氣體用 AK

    ・配管連接Rc, R, NPT系列化
    ・從半導體到一般產業用途可使用的標準產品
    ・施以精密洗淨
    ・驅動部高度降低,實現了產品的小型、輕量化(AK3542, 4542)
    ・操作孔M5螺牙(AK3542, 4542)
    ・旋鈕構造的改良,實現了產品的小型、輕量化(AK3652, 4652)
    ・採用附旋鈕圓握把,操作性、辨識性提昇(AK3652, 4652)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AK氣控型SUS316卡套接頭
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''
AK手動操作型SUS316卡套接頭
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''

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