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300mm晶圓對應平行密封型閘閥 XGTP

High Vacuum Equipment(zhtw) » Slit Valves(zhtw)
產品特點
    ・長壽命：300萬次（常溫時）
    ・發塵量：降低1/5以下（與既有品比）
    ・維修性提昇
    　容易更換伸縮囊
    　可上方簡易更換閘門設計（訂製品）
    ・安全對策
    　採用機械式端點鎖定機構
安全上的注意　系統構成/組合變化　綠色對應 (RoHS)
系列使用環境
壓力 (Pa)(abs)		使用流體開口窗尺寸
(高x寬)
(mm)		作動
壓力
(MPa)(G)
XGTP大氣壓
～ 10-6		惰性氣體50 x 3360.45 ～ 0.6

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