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缝阀 XGT

高真空元件 » 缝阀／门式阀
    ・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用压力范围（Pa）使用流体门尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGT大气压～1×10-6惰性气体类的真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

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