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水冷式温控器/高性能型 HRW

温控器 » 温控器(循环液温控装置)
产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
    ・与工厂内循环水直接热交换
    ・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
    ・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
     在半导体过程控制装置上成果较多
    ・符合UL、SEMI标准、CE认证
    ・可选择变频型

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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRW20~90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW
±0.3℃水冷却式
(无压缩机)
氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

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