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膜片阀　高纯度工艺气体用 AP

工艺气体元件（特气阀） » 工艺气体用元件
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 工艺气体元件
产品特点
    ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
    ・可作为气体的切断阀使用。
    ・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AP气控型SUS316L
二次熔炼		面密封接头
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP小型SUS316L
二次熔炼		面密封接头
管焊接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''

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