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薄膜制造工程 »
6. 涂布
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|6. 涂布
按用途涂布各种溶剂。
洁净型空气模块 LLB
气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列
无润滑脂 氮气(N2)对应元件 » 气源处理元件

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・将洁净元件模块化(削减配管工时/省空间)。
可轻松地得到洁净空气。
・过滤精度:0.01μm(捕捉效率99.99%)。
・接触流体部分:无润滑脂、无硅。
・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
・有24种组合。
注)入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1~1.6.1。
系列 | 使用流体 | 设定压力 | 流量范围 L/min(ANR) |
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LLB3 | 洁净空气 N2气体 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 | 洁净空气 N2气体 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |