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薄膜制造工程 »
6. 涂布
|6. 涂布
按用途涂布各种溶剂。
温控器/高性能型 HRZ
温控器 » 温控器（循环液温控装置）产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件
温控器 » 温控器（循环液温控装置）High performance/Type & Inverter Type zh-cn
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・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
| シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
