节能、用途、行业产品介绍

产品信息 » 按行业划分的产品介绍 » 薄膜制造工程 » 6. 涂布

薄膜制造工程后工序

|6. 涂布

按用途涂布各种溶剂。

5通电磁阀 10-SY

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

型号确认

产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	气缸驱动尺寸	消耗功率 (W)
10-SY3000	1.1dm3(s・bar)	φ40	0.35
10-SY5000	2.8dm3(s・bar)	φ63	0.35
10-SY7000	4.5dm3(s・bar)	φ80	0.35
10-SY9000	10dm3(s・bar)	φ100	0.35

5通电磁阀 10-SV

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	气缸驱动尺寸	消耗功率 (W)
10-SV1000	1.1dm3(s・bar)	φ40	0.6
10-SV2000	2.8dm3(s・bar)	φ63	0.6
10-SV3000	4.5dm3(s・bar)	φ80	0.6
10-SV4000	10dm3(s・bar)	φ100	0.6

4・5通电磁阀 10-SYJ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	气缸驱动尺寸	消耗功率 (W)	可用于真空
10-SYJ3000	0.46dm3(s・bar)	φ25	0.35	-100kPa
10-SYJ5000	0.83dm3(s・bar)	φ40	0.35	-100kPa
10-SYJ7000	2.9dm3(s・bar)	φ50	0.35	-100kPa

5通电磁阀 10-SZ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	气缸驱动尺寸	消耗功率 (W)
10-SZ3000	0.77dm3(s・bar)	φ32	0.6

5通电磁阀 10-S0700

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)

系列	流量特性 1→4/2（P→A/B） C［dm³/（s・bar）］	流量特性 1→4/2（P→A/B） b	流量特性 1→4/2（P→A/B） Cv	气缸驱动尺寸	消耗功率（W）
10-S0700	0.39	0.39	0.11	φ25	0.35

5通电磁阀 10-VQ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

型号确认

产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) C [dm3/(s・bar)]	流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) b	流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) Cv	气缸驱动尺寸	消耗功率(W)
10-VQ1000	1.0	0.30	0.25	φ40	0.4 (标准)
10-VQ2000	3.2	0.30	0.80	φ63	0.4 (标准)

5通电磁阀 10-SQ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	气缸驱动尺寸	消耗功率 (W)
10-SQ1000	0.83dm3(s・bar)	φ32	1.0
10-SQ2000	2.9dm3(s・bar)	φ63	1.0

4通电磁阀直动阀芯 10-VQD

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	气缸驱动尺寸	消耗功率 (W)
10-VQD1000	0.19dm3(s・bar)	φ25	2.0

3通电磁阀 10-V100

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	形式	声速流导：C	消耗功率 (W)
10-V100	标准型	0.037dm3(s・bar)	0.35 ★(0.1)
10-V100	大流量型	0.076dm3(s・bar)	1.0

3通电磁阀 10-SYJ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	声速流导：C	消耗功率(W)
10-SYJ300	0.36dm3(s・bar)	0.35
10-SYJ500	1.2dm3(s・bar)	0.35
10-SYJ700	3.0dm3(s・bar)	0.35

3通电磁阀 10-SY

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

型号确认

产品样本

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	形式	声速流导：C	消耗功率 (W)
10-SY100	标准型	★0.14mm2	0.5
10-SY100	大流量型	★0.22mm2	0.5

3通电磁阀 10-S070

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

洁净系列

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安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀共通注意事项　环保认证(RoHS)

系列	流量特性 C[dm3/(s·bar)]	流量特性 b	流量特性 Cv	消耗功率(W)	最高动作压力： MPa
10-S070	0.042	0.27	0.011	0.5	0.5
10-S070	0.060	0.28	0.016	0.5	0.3
10-S070	0.042	0.27	0.011	0.35	0.3
10-S070	0.060	0.28	0.016	0.35	0.1
10-S070	0.021	0.27	0.006	0.1 (带节电回路)	0.3
10-S070	0.042	0.28	0.011	0.1 (带节电回路)	0.1